[实用新型]一种CMP设备用压力传感器的防护结构有效
| 申请号: | 202022472489.6 | 申请日: | 2020-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN212931742U | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
| 发明(设计)人: | 刘欢 | 申请(专利权)人: | 天津昂嘉科技发展有限公司 |
| 主分类号: | G01L1/26 | 分类号: | G01L1/26;G01L19/00;G01L19/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 300000 天津市武清区京*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 cmp 备用 压力传感器 防护 结构 | ||
本实用新型提供一种CMP设备用压力传感器的防护结构,涉及压力传感器技术领域,包括传送器和防护装置,所述传送器的表面固定连接有皮线,所述传送器的表面设有防护装置,所述防护装置包括有固定板,所述固定板与传送器滑动连接,所述固定板的表面滑动连接有滑块,所述滑块呈“L”形结构,所述滑块靠近传送器的一侧固定连接有凹槽板,所述固定板的表面固定连接有固定块,所述固定块的表面螺纹连接有螺杆,所述凹槽板借助螺杆与固定板滑动连接。本实用新型,解决了由于传送器为杆状结构,导致传送器受到外力撞击传感器时,会导致传感器与设备的连接处容易发生弯折,从而引起压力传感器与设备连接处的损坏,进而影响传感器的正常使用的问题。
技术领域
本实用新型涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种CMP设备用压力传感器的防护结构。
背景技术
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业,下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用。
压力传感器的连接方法通常是直接与设备上的螺筒进行螺纹连接,但是由于传送器为杆状结构,导致传送器受到外力撞击传感器时,会导致传感器与设备的连接处容易发生弯折,从而引起压力传感器与设备连接处的损坏,进而影响传感器的正常使用。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种CMP设备用压力传感器的防护结构。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种CMP设备用压力传感器的防护结构,包括传送器和防护装置,所述传送器的表面固定连接有皮线,所述传送器的表面设有防护装置,所述防护装置包括有固定板,所述固定板与传送器滑动连接,所述固定板的表面滑动连接有滑块,所述滑块呈“L”形结构,所述滑块靠近传送器的一侧固定连接有凹槽板,所述固定板的表面固定连接有固定块,所述固定块的表面螺纹连接有螺杆,所述凹槽板借助螺杆与固定板滑动连接,所述固定板远离皮线的一侧固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆远离固定板的一端固定连接有防护板,所述伸缩杆的表面套有第一弹簧,所述第一弹簧的一端与固定板固定连接,所述第一弹簧的另一端与防护板固定连接。
优选的,所述防护板的表面固定连接有四个固定环,四个所述固定环的内壁均滑动连接有圆形销,所述圆形销的两端均固定连接有圆块。
优选的,所述圆形销的表面套有第二弹簧,所述第二弹簧的一端与固定环固定连接,所述第二弹簧的另一端与圆块固定连接。
优选的,所述传送器的表面设有固定装置,所述固定装置包括有连接杆,所述连接杆与传送器固定连接,所述连接杆呈“L”形结构,所述连接杆远离传送器的一端固定连接有U形块,所述U形块的表面开设有滑槽,滑槽的内壁滑动连接有限位块,所述限位块远离滑槽内壁的一侧固定连接有卡槽板。
优选的,所述卡槽板远离限位块的一侧固定连接第三弹簧,所述第三弹簧的另一端与U形块固定连接,所述U形块的表面插设有螺栓,所述卡槽板借助螺栓与U形块滑动连接。
优选的,所述卡槽板的表面固定连接有卡条,所述卡条呈“C”形结构,所述卡条均匀排列在卡槽板的内壁。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,
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