[实用新型]一种CMP设备用压力传感器的防护结构

权利要求书

1.一种CMP设备用压力传感器的防护结构，包括传送器(1)和防护装置(3)，其特征在于：所述传送器(1)的表面固定连接有皮线(2)，所述传送器(1)的表面设有防护装置(3)，所述防护装置(3)包括有固定板(301)，所述固定板(301)与传送器(1)滑动连接，所述固定板(301)的表面滑动连接有滑块(310)，所述滑块(310)呈“L”形结构，所述滑块(310)靠近传送器(1)的一侧固定连接有凹槽板(311)，所述固定板(301)的表面固定连接有固定块(309)，所述固定块(309)的表面螺纹连接有螺杆(308)，所述凹槽板(311)借助螺杆(308)与固定板(301)滑动连接，所述固定板(301)远离皮线(2)的一侧固定连接有伸缩杆(302)，所述伸缩杆(302)远离固定板(301)的一端固定连接有防护板(303)，所述伸缩杆(302)的表面套有第一弹簧(304)，所述第一弹簧(304)的一端与固定板(301)固定连接，所述第一弹簧(304)的另一端与防护板(303)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的防护结构，其特征在于：所述防护板(303)的表面固定连接有四个固定环(307)，四个所述固定环(307)的内壁均滑动连接有圆形销(306)，所述圆形销(306)的两端均固定连接有圆块。

3.根据权利要求2所述的一种CMP设备用压力传感器的防护结构，其特征在于：所述圆形销(306)的表面套有第二弹簧(305)，所述第二弹簧(305)的一端与固定环(307)固定连接，所述第二弹簧(305)的另一端与圆块固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的防护结构，其特征在于：所述传送器(1)的表面设有固定装置(4)，所述固定装置(4)包括有连接杆(41)，所述连接杆(41)与传送器(1)固定连接，所述连接杆(41)呈“L”形结构，所述连接杆(41)远离传送器(1)的一端固定连接有U形块(42)，所述U形块(42)的表面开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有限位块(47)，所述限位块(47)远离滑槽内壁的一侧固定连接有卡槽板(44)。

5.根据权利要求4所述的一种CMP设备用压力传感器的防护结构，其特征在于：所述卡槽板(44)远离限位块(47)的一侧固定连接第三弹簧(43)，所述第三弹簧(43)的一端与U形块(42)固定连接，所述U形块(42)的表面插设有螺栓(45)，所述卡槽板(44)借助螺栓(45)与U形块(42)活动连接。

6.根据权利要求4所述的一种CMP设备用压力传感器的防护结构，其特征在于：所述卡槽板(44)的表面固定连接有卡条(46)，所述卡条(46)呈“C”形结构，所述卡条(46)均匀排列在卡槽板(44)的内壁。