[实用新型]一种具备平整度调整功能的探针卡

说明书

本实用新型公开了一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体，所述印刷电路板本体外壁设有探针本体，所述印刷电路板本体外壁远离探针本体一侧设有空间转换器本体，所述空间转换器本体内部设有内插板本体，所述空间转换器本体外壁设置偏转装置，所述空间转换器本体外壁远离偏转装置一侧设置补偿装置，所述空间转换器本体由第一接触探针、第一探针基板和第一空间转换器。本实用新型中，第一平整度调节装置和第二平整度调节装置没有相互连接，而是各自与探针基板相连，因为第一平整度调节装置和第二平整度调节装置之间没有干扰，所以平整度不受限制，从而能够确保平整自由度。

技术领域

本实用新型涉及探针卡的平整度调节技术领域，具体涉及一种具备平整度调整功能的探针卡。

背景技术

为了测试半导体元件（如半导体存储器、显示器）的制造过程或制造后有无缺陷，通常利用探针卡电性连接晶圆和半导体元件测试设备，将测试设备的电信号传输到晶圆上形成的半导体裸芯片，从半导体裸芯片返回的信号传输到半导体元件测试设备。目前，市面上探针卡不具备平整度调整功能。

因此，发明一种具备平整度调整功能的探针卡来解决上述问题很有必要。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种具备平整度调整功能的探针卡，通过，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体，所述印刷电路板本体外壁设有探针本体，所述印刷电路板本体外壁远离探针本体一侧设有空间转换器本体，所述空间转换器本体内部设有内插板本体，所述空间转换器本体外壁设置偏转装置，所述空间转换器本体外壁远离偏转装置一侧设置补偿装置，所述空间转换器本体由第一接触探针、第一探针基板和第一空间转换器、内插板、第一支架、夹紧弹簧、第一下加强板、第一上加强板、第一印刷电路板、第一平整螺栓、第一平整转接头、第一平整螺丝、第一浮动基板、浮动基板柱、第二平整螺栓、第二浮动基板、第三平整螺栓、第二上加强板组成，所述探针本体由第二探针基板、第二印刷电路板、第一平整度调节装置、浮动安装装置、第二平整度调节装置组成。

优选的，所述印刷电路板本体由第二接触探针、第一MEMS探针基板、第二空间转换器、第二支架、第三接触探针、第二MEMS探针基板、第三空间转换器、第四接触探针、第四空间转换器组成。

优选的，所述内插板本体由第三平整螺丝、第二平整转接头、第四平整螺栓、第四平整螺丝、第五平整螺栓组成。

优选的，所述补偿装置由第二浮动基板、浮动基板柱组成。

优选的，所述偏转装置由第三印刷电路板、中介转接器、第三上加强板、第二下加强板、第四印刷电路板、第四上加强板、第三下加强板组成。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

本实用新型通过将第一平整度调节装置和第二平整度调节装置没有相互连接，而是各自与探针基板相连，使得第一平整度调节装置和第二平整度调节装置之间没有干扰，所以平整度不受限制，从而能够确保平整自由度，即使在大面积探针卡中，多个平整度调节装置彼此独立，具有轻松调节平整度的效果。

附图说明

为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是包括用于调节探针平坦度装置的传统探针卡的剖面图。

图2是根据本发明一实施例提供的探针卡的剖面图。