[实用新型]一种具备平整度调整功能的探针卡有效
| 申请号： | 202022467253.3 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN213633546U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 金鑫;严日东 | 申请（专利权）人： | 铭针微机电（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具备 平整 调整 功能 探针 | ||
1.一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体（30），其特征在于：所述印刷电路板本体（30）外壁设有探针本体（20），所述印刷电路板本体（30）外壁远离探针本体（20）一侧设有空间转换器本体（10），所述空间转换器本体（10）内部设有内插板本体（40），所述空间转换器本体（10）外壁设置偏转装置（60），所述空间转换器本体（10）外壁远离偏转装置（60）一侧设置补偿装置（50），所述空间转换器本体（10）由第一接触探针（101）、第一探针基板（102）和第一空间转换器（103）、内插板（104）、第一支架（105）、夹紧弹簧（106）、第一下加强板（107）、第一上加强板（108）、第一印刷电路板（109）、第一平整螺栓（110）、第一平整转接头（111）、第一平整螺丝（112）、第一浮动基板（113）、浮动基板柱（114）、第二平整螺栓（115）、第二浮动基板（121）、第三平整螺栓（122）、第二上加强板（123）组成，所述探针本体（20）由第二探针基板（211）、第二印刷电路板（212）、第一平整度调节装置（213）、浮动安装装置（214）、第二平整度调节装置（215）组成。
2.根据权利要求1所述的一种具备平整度调整功能的探针卡，其特征在于：所述印刷电路板本体（30）由第二接触探针（311）、第一MEMS探针基板（312）、第二空间转换器（313）、第二支架（314）、第三接触探针（321）、第二MEMS探针基板（322）、第三空间转换器（323）、第四接触探针（331）、第四空间转换器（332）组成。
3.根据权利要求1所述的一种具备平整度调整功能的探针卡，其特征在于：所述内插板本体（40）由第三平整螺丝（411）、第二平整转接头（412）、第四平整螺栓（413）、第四平整螺丝（421）、第五平整螺栓（422）组成。
4.根据权利要求1所述的一种具备平整度调整功能的探针卡，其特征在于：所述补偿装置（50）由第二浮动基板（511）、浮动基板柱（512）组成。
5.根据权利要求1所述的一种具备平整度调整功能的探针卡，其特征在于：所述偏转装置（60）由第三印刷电路板（611）、中介转接器（612）、第三上加强板（613）、第二下加强板（614）、第四印刷电路板（621）、第四上加强板（622）、第三下加强板（623）组成。
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