[实用新型]一种CMP设备用便于维护的压力传感器

说明书

本实用新型提供一种CMP设备用便于维护的压力传感器，涉及压力传感器技术领域，包括器体和覆盖装置，所述器体的表面固定连接有显示屏，所述器体的表面固定连接有皮线，所述器体的表面设有覆盖装置，所述覆盖装置包括有两个方形板，两个方形板与器体固定连接，两个方形板之间固定连接有固定梢，所述固定梢的表面滑动连接有盖板，所述固定梢的表面套有第一弹簧，所述第一弹簧的一端与方形板固定连接，所述第一弹簧的另一端与盖板固定连接。本实用新型，解决了现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施，传感器上面的显示屏容易被落灰，而且传感器上的显示屏在长期使用后容易造成显示屏被刮花的情况，不便于工作人员对数据的读取的问题。

技术领域

本实用新型涉及压力传感器技术领域，尤其涉及一种CMP设备用便于维护的压力传感器。

背景技术

压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成，按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。

压力传感器上通常设有显示屏，可以便于工作人员对数据的观察，但是现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施，传感器上面的显示屏容易被落灰，而且传感器上的显示屏在长期使用后容易造成显示屏被刮花的情况，不便于工作人员对数据的读取。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种CMP设备用便于维护的压力传感器。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种CMP设备用便于维护的压力传感器，包括器体和覆盖装置，所述器体的表面固定连接有显示屏，所述器体的表面固定连接有皮线，所述器体的表面设有覆盖装置，所述覆盖装置包括有两个方形板，两个方形板与器体固定连接，两个方形板之间固定连接有固定梢，所述固定梢的表面滑动连接有盖板，所述固定梢的表面套有第一弹簧，所述第一弹簧的一端与方形板固定连接，所述第一弹簧的另一端与盖板固定连接，所述器体的表面固定连接有L形板，所述L形板的表面转动连接有转轴，所述转轴的表面固定连接有齿轮，所述盖板的表面固定连接有齿板，所述齿板与齿轮相啮合。

优选的，所述器体远离L形板的一侧固定连接有限位板，所述限位板的表面开设有卡槽，所述盖板与L形板相对的一侧固定连接有两个伸缩杆，两个所述伸缩杆靠近器体的一端固定连接有卡板。

优选的，所述伸缩杆的表面套有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与卡板固定连接，所述第二弹簧的另一端与盖板固定连接，所述卡板靠近器体的一侧固定连接有卡块，卡块的大小与卡槽的大小相适配，卡块的表面开设有矩形槽，矩形槽的内壁转动连接有滚筒，所述滚筒与限位板滚动连接。

优选的，所述卡板远离滚筒的一侧固定连接有拉绳，所述卡板借助拉绳与盖板滑动连接。

优选的，所述器体的表面设有防护装置，所述防护装置包括有螺纹筒，所述螺纹筒与器体固定连接，所述螺纹筒的表面螺纹连接有螺环，所述螺环远离器体的表面固定连接有四个连接杆，四个所述连接杆远离器体的一端固定连接有套环。

优选的，所述套环的内壁均匀固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的另一端固定连接有凹槽板，所述皮线与两个凹槽板滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，