[实用新型]一种CMP设备用便于维护的压力传感器

权利要求书

1.一种CMP设备用便于维护的压力传感器，包括器体(1)和覆盖装置(4)，其特征在于：所述器体(1)的表面固定连接有显示屏(2)，所述器体(1)的表面固定连接有皮线(3)，所述器体(1)的表面设有覆盖装置(4)，所述覆盖装置(4)包括有两个方形板，两个方形板与器体(1)固定连接，两个方形板之间固定连接有固定梢(403)，所述固定梢(403)的表面滑动连接有盖板(401)，所述固定梢(403)的表面套有第一弹簧(402)，所述第一弹簧(402)的一端与方形板固定连接，所述第一弹簧(402)的另一端与盖板(401)固定连接，所述器体(1)的表面固定连接有L形板(413)，所述L形板(413)的表面转动连接有转轴(412)，所述转轴(412)的表面固定连接有齿轮(411)，所述盖板(401)的表面固定连接有齿板(404)，所述齿板(404)与齿轮(411)相啮合。

2.根据权利要求1所述的一种CMP设备用便于维护的压力传感器，其特征在于：所述器体(1)远离L形板(413)的一侧固定连接有限位板(408)，所述限位板(408)的表面开设有卡槽，所述盖板(401)与L形板(413)相对的一侧固定连接有两个伸缩杆(405)，两个所述伸缩杆(405)靠近器体(1)的一端固定连接有卡板(407)。

3.根据权利要求2所述的一种CMP设备用便于维护的压力传感器，其特征在于：所述伸缩杆(405)的表面套有第二弹簧(409)，所述第二弹簧(409)的一端与卡板(407)固定连接，所述第二弹簧(409)的另一端与盖板(401)固定连接，所述卡板(407)靠近器体(1)的一侧固定连接有卡块，卡块的大小与卡槽的大小相适配，卡块的表面开设有矩形槽，矩形槽的内壁转动连接有滚筒(410)，所述滚筒(410)与限位板(408)滚动连接。

4.根据权利要求2所述的一种CMP设备用便于维护的压力传感器，其特征在于：所述卡板(407)远离滚筒(410)的一侧固定连接有拉绳(406)，所述卡板(407)借助拉绳(406)与盖板(401)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种CMP设备用便于维护的压力传感器，其特征在于：所述器体(1)的表面设有防护装置(5)，所述防护装置(5)包括有螺纹筒(51)，所述螺纹筒(51)与器体(1)固定连接，所述螺纹筒(51)的表面螺纹连接有螺环(52)，所述螺环(52)远离器体(1)的表面固定连接有四个连接杆(53)，四个所述连接杆(53)远离器体(1)的一端固定连接有套环(54)。

6.根据权利要求5所述的一种CMP设备用便于维护的压力传感器，其特征在于：所述套环(54)的内壁均匀固定连接有伸缩弹簧(55)，所述伸缩弹簧(55)的另一端固定连接有凹槽板(46)，所述皮线(3)与两个凹槽板(46)滑动连接。