[实用新型]一种芯片生产用检测装置有效

专利信息
申请号: 202022456403.0 申请日: 2020-10-29
公开(公告)号: CN214040120U 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 成都北洵秋科技有限公司
主分类号: G01D21/00 分类号: G01D21/00;B08B5/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610000 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 生产 检测 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种芯片生产用检测装置,包括驱动箱,所述驱动箱的右侧固定连接有第一电机,所述第一电机的转轴贯穿至驱动箱的内腔并固定连接有丝杆,所述丝杆的左端与驱动箱的内壁活动连接,所述丝杆表面两侧的螺纹相反,所述丝杆表面的两侧均螺纹套设有螺纹套,所述螺纹套的顶部固定连接有连接块,所述驱动箱顶部的两侧均开设有长孔。本实用新型具备检测效果好及具有清洁功能的优点,解决了现有的芯片生产用检测装置,在使用过程中,无法对芯片进行夹持旋转,导致不能对芯片的表面进行多方位检测,从而影响检测效果,且由于结构单一,不具有清洁功能,不能对芯片表面的灰尘进行吸尘处理,降低了检测装置适用性的问题。

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域,具体为一种芯片生产用检测装置。

背景技术

芯片(半导体元件产品的统称),晶片/芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。

现有的芯片生产用检测装置,在使用过程中,无法对芯片进行夹持旋转,导致不能对芯片的表面进行多方位检测,从而影响检测效果,且由于结构单一,不具有清洁功能,不能对芯片表面的灰尘进行吸尘处理,降低了检测装置的适用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片生产用检测装置,具备检测效果好及具有清洁功能的优点,解决了现有的芯片生产用检测装置,在使用过程中,无法对芯片进行夹持旋转,导致不能对芯片的表面进行多方位检测,从而影响检测效果,且由于结构单一,不具有清洁功能,不能对芯片表面的灰尘进行吸尘处理,降低了检测装置适用性的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片生产用检测装置,包括驱动箱,所述驱动箱的右侧固定连接有第一电机,所述第一电机的转轴贯穿至驱动箱的内腔并固定连接有丝杆,所述丝杆的左端与驱动箱的内壁活动连接,所述丝杆表面两侧的螺纹相反,所述丝杆表面的两侧均螺纹套设有螺纹套,所述螺纹套的顶部固定连接有连接块,所述驱动箱顶部的两侧均开设有长孔,所述连接块的顶部贯穿长孔并固定连接有活动板,所述活动板左侧的顶部固定连接有第二电机,所述第二电机的转轴固定连接有第一夹板,所述活动板右侧的顶部活动连接有转杆,所述转杆的右端固定连接有压力传感器,所述压力传感器的右侧固定连接有第二夹板,所述第一夹板与第二夹板相对的一侧均开设有限位槽,所述驱动箱的顶部固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的顶端固定连接有放置板,所述驱动箱顶部的两侧均固定连接有液压缸,所述液压缸的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的底部固定连接有检测机构,所述支撑板顶部的左侧固定连接有吸尘箱,所述吸尘箱的右侧固定连接有风机,所述风机的出风管与吸尘箱相连通,所述支撑板的顶部固定连接有分布管,所述风机的进风管与分布管相连通,所述分布管底部的两侧均连通有吸尘管,所述吸尘管的底端贯穿至支撑板的底部,所述吸尘箱内腔的右侧固定连接有螺纹管,所述螺纹管的表面螺纹套设有过滤筒,所述过滤筒与螺纹管螺纹连接,所述吸尘箱的左侧开设有通风孔。

优选的,所述吸尘箱的前侧通过铰链活动连接有箱门,所述箱门前侧的底部固定连接有把手。

优选的,所述驱动箱底部的四角均固定连接有支撑杆,所述支撑杆的底端固定连接有支撑块。

优选的,所述螺纹套的底部固定连接有导向块,所述驱动箱内腔的底部开设有导向槽,导向块的底部延伸至导向槽的内腔。

优选的,所述驱动箱的前侧固定连接有控制器,所述控制器分别与第一电机、第二电机、电动伸缩杆、液压缸和风机电性连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

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