[实用新型]一种芯片生产用检测装置有效

专利信息
申请号: 202022456403.0 申请日: 2020-10-29
公开(公告)号: CN214040120U 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 成都北洵秋科技有限公司
主分类号: G01D21/00 分类号: G01D21/00;B08B5/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610000 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 生产 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片生产用检测装置,包括驱动箱(1),其特征在于:所述驱动箱(1)的右侧固定连接有第一电机(2),所述第一电机(2)的转轴贯穿至驱动箱(1)的内腔并固定连接有丝杆(3),所述丝杆(3)的左端与驱动箱(1)的内壁活动连接,所述丝杆(3)表面两侧的螺纹相反,所述丝杆(3)表面的两侧均螺纹套设有螺纹套(4),所述螺纹套(4)的顶部固定连接有连接块(5),所述驱动箱(1)顶部的两侧均开设有长孔(6),所述连接块(5)的顶部贯穿长孔(6)并固定连接有活动板(7),所述活动板(7)左侧的顶部固定连接有第二电机(8),所述第二电机(8)的转轴固定连接有第一夹板(9),所述活动板(7)右侧的顶部活动连接有转杆(10),所述转杆(10)的右端固定连接有压力传感器(11),所述压力传感器(11)的右侧固定连接有第二夹板(12),所述第一夹板(9)与第二夹板(12)相对的一侧均开设有限位槽(13),所述驱动箱(1)的顶部固定连接有电动伸缩杆(14),所述电动伸缩杆(14)的顶端固定连接有放置板(15),所述驱动箱(1)顶部的两侧均固定连接有液压缸(16),所述液压缸(16)的顶端固定连接有支撑板(17),所述支撑板(17)的底部固定连接有检测机构(18),所述支撑板(17)顶部的左侧固定连接有吸尘箱(19),所述吸尘箱(19)的右侧固定连接有风机(20),所述风机(20)的出风管与吸尘箱(19)相连通,所述支撑板(17)的顶部固定连接有分布管(21),所述风机(20)的进风管与分布管(21)相连通,所述分布管(21)底部的两侧均连通有吸尘管(22),所述吸尘管(22)的底端贯穿至支撑板(17)的底部,所述吸尘箱(19)内腔的右侧固定连接有螺纹管(23),所述螺纹管(23)的表面螺纹套设有过滤筒(24),所述过滤筒(24)与螺纹管(23)螺纹连接,所述吸尘箱(19)的左侧开设有通风孔(25)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于:所述吸尘箱(19)的前侧通过铰链活动连接有箱门(26),所述箱门(26)前侧的底部固定连接有把手。

3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于:所述驱动箱(1)底部的四角均固定连接有支撑杆(27),所述支撑杆(27)的底端固定连接有支撑块。

4.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于:所述螺纹套(4)的底部固定连接有导向块,所述驱动箱(1)内腔的底部开设有导向槽,导向块的底部延伸至导向槽的内腔。

5.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于:所述驱动箱(1)的前侧固定连接有控制器(28),所述控制器(28)分别与第一电机(2)、第二电机(8)、电动伸缩杆(14)、液压缸(16)和风机(20)电性连接。

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