[实用新型]一种晶圆贴片加工夹具

权利要求书

1.一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，包括

架体组件(100)，所述架体组件(100)包括底座(110)和支架(120)，所述支架(120)固定在所述底座(110)表面；

夹持机构(200)，所述夹持机构(200)包括卡盘(210)和压板(220)，所述卡盘(210)安装在所述底座(110)表面，所述压板(220)位于所述卡盘(210)上方，所述压板(220)表面安装有螺杆(230)，且所述螺杆(230)与所述支架(120)螺纹连接；

取料机构(300)，所述取料机构(300)包括第一真空吸盘(310)和真空发生器(320)，所述第一真空吸盘(310)安装在所述压板(220)表面，且所述第一真空吸盘(310)通过连管(330)与所述真空发生器(320)的抽真空端连通。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述支架(120)为角板，且所述支架(120)与所述底座(110)的连接处一体成型。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述卡盘(210)的上端面嵌装有第二真空吸盘(211)，且所述第一真空吸盘(310)和所述第二真空吸盘(211)相对设置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述卡盘(210)的下端面通过支杆(212)与所述底座(110)固定连接，且所述支杆(212)的沿所述卡盘(210)的周向等距设置有至少三个。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述压板(220)包括下板体(221)和上板体(222)，所述上板体(222)通过支板(223)安装在下板体(221)上端面，所述上板体(222)通过轴承与所述螺杆(230)转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述卡盘(210)的卡爪设置为圆柱状，所述下板体(221)表面开设有与所述卡盘(210)的卡爪相匹配的通槽(224)，且所述卡盘(210)的卡爪滑动插接于所述通槽(224)槽内。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述压板(220)表面开设有通孔(225)，所述第一真空吸盘(310)滑动插接于所述通孔(225)孔内，所述连管(330)表面紧固套接有连接环(331)，所述支板(223)一侧通过弹簧(226)连接有压块(227)，且所述压块(227)的一侧紧贴着所述连接环(331)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述支板(223)为角板，所述压块(227)的一侧固定有导向杆(228)，且所述导向杆(228)的一端滑动贯穿所述支板(223)。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述连接环(331)周面开设有环形槽(332)，所述压块(227)滑动插接于所述环形槽(332)槽内。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片加工夹具，其特征在于，所述连管(330)表面连通有气管(340)，且所述气管(340)管口安装有阀门(350)。