[实用新型]一种气浮硅片传输机构

权利要求书

1.一种气浮硅片传输机构，其特征在于，包括机架、气浮组件以及传输组件，所述气浮组件、传输组件均设置在所述机架上，所述传输组件包括传输架以及两皮带单元，两皮带单元设置在所述传输架上，所述传输架设置在所述机架上，所述气浮组件设置在两皮带单元之间，所述皮带单元上设置有挡料部件，驱动单元，所述驱动单元与两皮带单元驱动连接，通过所述驱动单元驱动皮带单元转动带动挡料部件上的硅片移动。

2.如权利要求1所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述气浮组件包括气浮平台以及气浮支架，所述气浮支架设置在所述机架上，所述气浮平台设置在所述气浮支架上，所述气浮平台上设置有出气孔。

3.如权利要求1所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述皮带单元包括传输皮带、皮带架，所述皮带架两端设置有驱动架，所述驱动架上设置有驱动轮，两驱动轮通过传输皮带连接。

4.如权利要求3所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述驱动单元包括驱动支架以及驱动电机，所述驱动电机与减速机连接，所述减速机设置在所述驱动支架上，所述驱动支架设置在所述机架上，所述减速机输出轴通过联轴器与驱动轴连接，所述驱动轴穿设在两皮带单元的驱动轮上，通过驱动电机驱动驱动轴转动带动两皮带单元上的驱动轮同步转动。

5.如权利要求3所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述传输皮带上设置有横板，所述横板上设置有挡片，所述皮带架上设置有开关架，所述开关架上设置有与所述挡片相匹配的槽型光电开关。

6.如权利要求3所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述挡料部件包括挡块，所述挡块设置在连接架上，所述连接架设置在所述传输皮带上，所述挡块上开设有放置槽，所述放置槽上设置有隔板，所述隔板将所述放置槽分割成两个置物空间。

7.如权利要求6所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述放置槽上设置有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面一侧与所述第二斜面连接，所述第一斜面、第二斜面均与硅片的侧边抵接。

8.如权利要求6所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述隔板上设置有两第三斜面，两第三斜面对称设置在所述隔板两侧，所述第三斜面与硅片的侧边抵接。

9.如权利要求6所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述挡块有多个，所述多个挡块沿所述传输皮带的长度方向等间距设置。

10.如权利要求6所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述连接架包括连接板、螺钉以及垫块，所述垫块设置在所述传输皮带上，所述连接板设置在所述垫块上，所述挡块设置在所述连接板上，所述连接板上开设有腰型槽，所述螺钉穿设过腰型槽与垫块上的螺孔连接。