[实用新型]内设掩膜层的感光干膜

权利要求书

1.一种内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：它包括保护膜(1)、感光层(2)和掩膜层(3)；所述保护膜(1)覆盖于感光层(2)的一侧表面，所述掩膜层(3)覆盖于感光层(2)的另一侧表面，掩膜层(3)表面印制有特定的掩膜图案(3-1)，掩膜图案(3-1)采用遮光颜料印制，图案区域遮挡UV及可见光，非图案区域可透过UV及可见光。

2.根据权利要求1所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述保护膜(1)为高分子聚合物薄膜，包含PET、PP、PE、LDPE、LLDPE中的至少一种材质。

3.根据权利要求1所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述保护膜(1)的厚度为10-50um。

4.根据权利要求1所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述感光层(2)为感光树脂材料构成。

5.根据权利要求1所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述感光层(2)的厚度为15-50um。

6.根据权利要求1所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述掩膜层(3)为高分子聚合物薄膜，包含PET、PP、PE、LDPE、LLDPE中的至少一种材质。

7.根据权利要求1所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述掩膜层(3)的厚度为30-200um。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的内设掩膜层的感光干膜，其特征在于：所述掩膜图案(3-1)印制在临近感光层(2)的一面，或印制在远离感光层(2)的一面。