[实用新型]一种退火炉内部的清洗结构

说明书

本实用新型公开了一种退火炉内部的清洗结构，涉及退火炉清理技术领域，为解决现有技术中的退火炉在清理时，是使用钢丝穿过退火管，与钢丝球连接起来，然后再通过钢丝轮把钢丝拉出，让钢丝球来完成对退火管内部的清洗，这过程复杂，并且还清理的不是很彻底干净，会有污渍的残留的问题。所述退火炉箱的一侧设置有第一冷却水箱，且退火炉箱的另一侧设置有第二冷却水箱，所述退火炉箱与第二冷却水箱和第一冷却水箱焊接连接，所述第二冷却水箱和第一冷却水箱的顶部均设置有水箱盖，且水箱盖与第一冷却水箱和第二冷却水箱通过转轴转动连接，所述退火炉箱的内部设置有退火管，且退火管有多个。

技术领域

本实用新型涉及退火炉清理技术领域，具体为一种退火炉内部的清洗结构。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

但是，现有的退火炉在清理时，是使用钢丝穿过退火管，与钢丝球连接起来，然后再通过钢丝轮把钢丝拉出，让钢丝球来完成对退火管内部的清洗，这过程复杂，并且还清理的不是很彻底干净，会有污渍的残留；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种退火炉内部的清洗结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种退火炉内部的清洗结构，以解决上述背景技术中提出的退火炉在清理时，是使用钢丝穿过退火管，与钢丝球连接起来，然后再通过钢丝轮把钢丝拉出，让钢丝球来完成对退火管内部的清洗，这过程复杂，并且还清理的不是很彻底干净，会有污渍的残留的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉内部的清洗结构，包括退火炉箱，所述退火炉箱的一侧设置有第一冷却水箱，且退火炉箱的另一侧设置有第二冷却水箱，所述退火炉箱与第二冷却水箱和第一冷却水箱焊接连接，所述第二冷却水箱和第一冷却水箱的顶部均设置有水箱盖，且水箱盖与第一冷却水箱和第二冷却水箱通过转轴转动连接，所述退火炉箱的内部设置有退火管，且退火管有多个，所述退火管依次穿过第一冷却水箱、退火炉箱和第二冷却水箱，所述退火管的内部设置有旋转杆，所述旋转杆的一侧设置有旋转页板，且旋转杆与旋转页板固定连接。

优选的，所述水箱盖的底部均设置有隔板，且隔板有多个，多个所述隔板之间设置有连通管。

优选的，所述退火管的两端均设置有退火管套，且退火管与退火管套通过卡槽连接。

优选的，所述退火炉箱的底部设置有底座，所述底座的底部设置有底座支架，且底座与底座支架焊接连接。

优选的，所述旋转杆的一端设置有第一固定板，且旋转杆的另一端设置有电机，所述电机的一侧设置有第二固定板。

优选的，所述电机与第二固定板焊接连接，所述旋转杆与第一固定板通过卡槽转动连接，所述电机与旋转杆通过转轴转动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在退火炉箱内部退火管里设计清洗结构，可以自动清洗退火管里的污垢，减轻了工人的工作强度，可以实时保持退火管里的清洁，并且使用过的退火管温度很高，自动清理是，工人不用直接接触退火管，保证了工人的安全性；

2、本实用新型通过在退火管内部旋转杆进行转动，可以让旋转杆一侧的旋转页板对退火管内壁的每个部分进行摩擦，让退火管内壁上的污垢都能被清理干净，并且也减少清理工具的耗费，更加的节能环保；

3、本实用新型通过在退火管的两端设计可拆卸的退火管套，可让退火管内壁清理下来的污垢可以排出来，退火管里面污垢都被摩擦掉后，只需要把退火管套拆卸，并在其中倒入清理水，让污垢流出来就可以了，工人操作起来简单。

附图说明