[实用新型]一种退火炉内部的清洗结构有效
| 申请号： | 202022368682.5 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN213613110U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朱建平;孙志平;严鑫 | 申请（专利权）人： | 江苏呈飞新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B9/032;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 王彩君 |
| 地址： | 212312 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 退火炉 内部 清洗 结构 | ||
1.一种退火炉内部的清洗结构，包括退火炉箱(1)，其特征在于：所述退火炉箱(1)的一侧设置有第一冷却水箱(2)，且退火炉箱(1)的另一侧设置有第二冷却水箱(14)，所述退火炉箱(1)与第二冷却水箱(14)和第一冷却水箱(2)焊接连接，所述第二冷却水箱(14)和第一冷却水箱(2)的顶部均设置有水箱盖(3)，且水箱盖(3)与第一冷却水箱(2)和第二冷却水箱(14)通过转轴转动连接，所述退火炉箱(1)的内部设置有退火管(7)，且退火管(7)有多个，所述退火管(7)依次穿过第一冷却水箱(2)、退火炉箱(1)和第二冷却水箱(14)，所述退火管(7)的内部设置有旋转杆(10)，所述旋转杆(10)的一侧设置有旋转页板(9)，且旋转杆(10)与旋转页板(9)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种退火炉内部的清洗结构，其特征在于：所述水箱盖(3)的底部均设置有隔板(6)，且隔板(6)有多个，多个所述隔板(6)之间设置有连通管(5)。
3.根据权利要求1所述的一种退火炉内部的清洗结构，其特征在于：所述退火管(7)的两端均设置有退火管套(8)，且退火管(7)与退火管套(8)通过卡槽连接。
4.根据权利要求1所述的一种退火炉内部的清洗结构，其特征在于：所述退火炉箱(1)的底部设置有底座(15)，所述底座(15)的底部设置有底座支架(4)，且底座(15)与底座支架(4)焊接连接。
5.根据权利要求1所述的一种退火炉内部的清洗结构，其特征在于：所述旋转杆(10)的一端设置有第一固定板(11)，且旋转杆(10)的另一端设置有电机(13)，所述电机(13)的一侧设置有第二固定板(12)。
6.根据权利要求5所述的一种退火炉内部的清洗结构，其特征在于：所述电机(13)与第二固定板(12)焊接连接，所述旋转杆(10)与第一固定板(11)通过卡槽转动连接，所述电机(13)与旋转杆(10)通过转轴转动连接。
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