[实用新型]吸盘变距机构

说明书

本实用新型吸盘变距机构，滑动机构和吸盘机构，所述滑动机构包括能够竖直滑动的凸轮槽板，所述吸盘机构包括多个横向滑轨、安装在滑轨上的横向滑块、与横向滑块连接的多个凸轮板，凸轮板上设有凸轮，所述凸轮板连接有吸盘安装板，所述吸盘安装板连接有吸盘气缸，所述吸盘气缸的输出端连接有真空吸盘，所述凸轮槽板包括竖直槽及位于竖直槽两侧的斜槽，所述斜槽的倾斜角度由内向外逐渐增大，所述凸轮位于竖直槽及斜槽内，所述凸轮槽板通过竖直移动带动凸轮横向移动。本实用新型采用真空吸盘机构，依据产品大小不一，在Tray盘中分布位置不同，减少吸盘机构的频繁更换，吸盘变距结构，在一定范围内自由变换，提高效率和机台稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体自动化生产设备领域，具体涉及吸盘变距机构。

背景技术

半导体产品搬运夹取产品时，易产生划伤等现象，为避免此现象产生，采用吸盘机构，传统的吸盘机构间距不能调整，依据不同产品大小需要频繁更换，使得机台效率和稳定性降低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种吸盘变距机构。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种吸盘变距机构，滑动机构和吸盘机构，所述滑动机构包括能够竖直滑动的凸轮槽板，所述吸盘机构包括多个横向滑轨、安装在滑轨上的横向滑块、与横向滑块连接的多个凸轮板，凸轮板上设有凸轮，所述凸轮板连接有吸盘安装板，所述吸盘安装板连接有吸盘气缸，所述吸盘气缸的输出端连接有真空吸盘，所述凸轮槽板包括竖直槽及位于竖直槽两侧的斜槽，所述斜槽的倾斜角度由内向外逐渐增大，所述凸轮位于竖直槽及斜槽内，所述凸轮槽板通过竖直移动带动凸轮横向移动。

进一步的，所述滑动机构包括伺服电机、滚珠丝杆、用于连接伺服电机和滚珠丝杆的同步带，所述滚珠丝杆连接有滑动块，滑动块连接有凸轮槽板，凸轮槽板设有竖直滑块，竖直滑块卡合有竖直滑轨。

进一步的，所述真空吸盘连接有导向杆。

进一步的，所述两侧的斜槽竖直槽关于对称设置。

进一步的，所述吸盘变距机构包括机罩、与机罩连接的安装板、与安装板连接的Z轴固定块。

进一步的，所述机罩设有光电开关。

与现有技术相比，本实用新型吸盘变距机构的有益效果是：采用真空吸盘机构，依据产品大小不一，在Tray盘中分布位置不同，减少吸盘机构的频繁更换，吸盘变距结构，在一定范围内自由变换，提高效率和机台稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的部分结构示意图。

图3是滑动机构的结构示意图。

图4是图3的部分结构示意图。

图5是吸盘机构的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图5，一种吸盘变距机构，包括机罩1、与机罩1连接的安装板6、与安装板6连接的Z轴固定块2，机罩1设有光电开关3。

安装板6设有滑动机构4和吸盘机构5，滑动机构4带动吸盘机构5变距运动。

滑动机构4包括伺服电机41、滚珠丝杆43、用于连接伺服电机41和滚珠丝杆43的同步带42，滚珠丝杆43连接有滑动块44，滑动块44连接有凸轮槽板46，凸轮槽板46设有竖直滑块48，竖直滑块48卡合有竖直滑轨47，竖直滑轨47固定于安装板6。凸轮槽板46能够沿竖直滑轨47在竖直方向滑动。

吸盘机构5包括多个横向滑轨51、安装在滑轨上的横向滑块52、与横向滑块52连接的多个凸轮板53，凸轮板53上设有凸轮58，凸轮板53连接有吸盘安装板54，吸盘安装板54连接有吸盘气缸55，吸盘气缸55的输出端连接有真空吸盘56，真空吸盘56连接有导向杆57。