[实用新型]一种移动弧源电弧离子沉积设备有效
| 申请号： | 202022356055.X | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213680867U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 富之柢;王俊虎;王娜;贾中华 | 申请（专利权）人： | 富之柢 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543 | 代理人： | 白鹤 |
| 地址： | 100072 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 移动 电弧 离子 沉积 设备 | ||
1.一种移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，包括真空室、移动平台和弧源；
所述移动平台设置在真空室内，所述弧源设置在移动平台上。
2.根据权利要求1所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述移动平台能够带动弧源沿真空室的轴向移动。
3.根据权利要求1所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述真空室包括移动平台安装腔和工件放置腔；
所述移动平台安装腔的开口端和工件放置腔的开口端相互密封连接。
4.根据权利要求3所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述移动平台包括电机、减速器、丝杠、螺母和滑块；
所述电机通过减速器带动丝杠转动，丝杠与移动平台安装腔转动连接，丝杠与移动平台安装腔轴向固定；
所述螺母固定在移动平台安装腔内，丝杠与螺母转动连接，滑块与螺母固定连接，且滑块在螺母的带动下沿丝杠的轴向移动。
5.根据权利要求4所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述丝杠与减速器之间设置有磁流体密封装置。
6.根据权利要求4所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述移动平台安装腔内设置有导轨，所述滑块与导轨滑动连接。
7.根据权利要求4所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述弧源与滑块固定连接。
8.根据权利要求3所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述移动平台安装腔上设置有冷却水接口和控制线接口。
9.根据权利要求3所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述工件放置腔内设置有工件旋转装置。
10.根据权利要求3所述的移动弧源电弧离子沉积设备，其特征在于，所述移动平台安装腔和工件放置腔之间设置有密封圈。
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