[实用新型]一种防飞晶反弹的划刀片防护机构

权利要求书

1.一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，包括工作台（1），所述工作台（1）右侧顶面固接固定架（2），其特征在于：所述工作台（1）顶面固接晶圆夹持组件（3），所述固定架（2）顶部侧面固接第一伸缩主杆（6），所述第一伸缩主杆（6）内部套接第一伸缩从杆（7），所述第一伸缩主杆（6）内部底部固接第一电机（10），所述第一电机（10）转轴处固接第一蜗杆（11），所述第一伸缩从杆（7）底部固接第一蜗轮（12），所述第一蜗轮（12）套接在第一蜗杆（11）上并啮合，所述第一伸缩从杆（7）侧边底部固接第二伸缩主杆（8），所述第二伸缩主杆（8）内部套接第二伸缩从杆（9），所述第二伸缩主杆（8）内部顶部固接第二电机（13），所述第二电机（13）转轴处固接第二蜗杆（14），所述第二伸缩从杆（9）底部固接第二蜗轮（15），所述第二蜗轮（15）套接在第二蜗杆（14）上并啮合，所述第二伸缩从杆（9）底部内部固接第三电机（17），所述第三电机（17）转轴处固接划片刀（18），所述第二伸缩从杆（9）位于划片刀（18）上部位置固接挡板（16）；

所述晶圆夹持组件（3）包括固接在工作台（1）顶面的放置板（301），所述放置板（301）侧边顶部固接固定板（304），所述固定板（304）横向开设通孔（307），所述通孔（307）处滑动连接滑杆（305），所述固定板（304）顶部旋转连接锁紧螺丝（306），所述锁紧螺丝（306）底部位于通孔（307）内、且接触滑杆（305），所述滑杆（305）右端固接活动夹持板（303），所述放置板（301）顶面位于活动夹持板（303）底部位置固接滑轨（302），所述活动夹持板（303）滑动连接滑轨（302），所述放置板（301）右侧顶面固接固定夹持板（308），所述固定夹持板（308）顶部铰接辅助夹具（309）、且铰接处固接扭簧（310），所述放置板（301）中心顶面固接第一气头（312），所述第一气头（312）穿过放置板（301）以及工作台（1）固接第一气泵（19），所述第一气泵（19）固接在工作台（1）底部，所述放置板（301）右侧顶面固接第二气头（313），所述第二气头（313）穿过放置板（301）以及工作台（1）固接第二气泵（20），所述第二气泵（20）固接在工作台（1）底部。

2.根据权利要求1所述的一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，其特征在于：所述第一气头（312）方向为水平方向，所述第二气头（313）方向为斜向四十五度方向。

3.根据权利要求1所述的一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，其特征在于：所述放置板（301）顶面位于活动夹持板（303）与固定夹持板（308）之间固接多个橡胶支块（311），所述橡胶支块（311）与固定夹持板（308）高度一致。

4.根据权利要求1所述的一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，其特征在于：所述活动夹持板（303）与固定夹持板（308）接触晶圆表面处为硅胶材质、且接触晶圆边缘处为圆弧形形状。

5.根据权利要求1所述的一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，其特征在于：所述第一伸缩从杆（7）左侧及第二伸缩从杆（9）顶部均为限位结构。

6.根据权利要求1所述的一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，其特征在于：所述工作台（1）底部两侧固接支脚（5）、顶面右侧固接操控面板（4），所述支脚（5）高度大于第一气泵（19）以及第二气泵（20）高度。

7.根据权利要求1所述的一种防飞晶反弹的划刀片防护机构，其特征在于：所述锁紧螺丝（306）底部为橡胶材质。