[实用新型]基板旋转固持装置

权利要求书

1.一种基板旋转固持装置，适用于固持基板并带动该基板旋转，其特征在于：该基板旋转固持装置包含：

旋转机构，包括旋转座，该旋转座具有承载面；及

多个支撑单元，布设于该承载面，用以共同支撑并固持该基板，每一支撑单元包括座体、安装部、支撑部，及两个限位部，该座体具有位于相反两侧的底面及顶面，该安装部自该底面延伸并连接该旋转座，该支撑部及所述限位部设于该顶面，该支撑部具有用以供该基板的背面靠抵的接触弧面，所述限位部彼此相间隔且相较于该支撑部远离该承载面的中心以供该基板的周缘靠抵。

2.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：每一限位部呈圆柱状凸出于该顶面。

3.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：该座体具有连接该安装部的主段及自该主段沿平行该承载面方向延伸的延伸段，该主段及该延伸段的底面共同形成该座体的底面，该主段及该延伸段的顶面共同形成该座体的顶面，该支撑部设于该主段且所述限位部设于该延伸段靠近末端处，该延伸段可操作地以该安装部为轴摆动一定角度，借此调整所述限位部相对于该基板周缘的位置。

4.根据权利要求3所述基板旋转固持装置，其特征在于：该支撑部相较于该座体的转动轴心靠近该承载面的中心。

5.根据权利要求3所述基板旋转固持装置，其特征在于：该主段呈圆柱状且该延伸段自该主段至末端渐缩，而使该座体呈水滴状。

6.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：所述限位部可拆地设于该座体。

7.根据权利要求1或6所述基板旋转固持装置，其特征在于：该支撑部可拆地设于该座体。

8.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：该支撑部呈中央隆起的弧面块状凸出于该座体的顶面。