[实用新型]一种碳化硅芯片切割装置有效

专利信息
申请号: 202022282984.0 申请日: 2020-10-14
公开(公告)号: CN213533295U 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 田李庄 申请(专利权)人: 济南新芯微电子有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67
代理公司: 山东明宇知信知识产权代理事务所(普通合伙) 37329 代理人: 钟文强
地址: 250000 山东省济南市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 芯片 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种碳化硅芯片切割装置,其特征在于,包括:

滑移块;

两个定撑板,两个所述定撑板分别设在滑移块的两侧;

两个转动杆,两个所述转动杆均转动安装在两个所述定撑板之间,两个所述转动杆均与滑移块螺纹连接;

第一电机,所述第一电机设在对应的所述定撑板的一侧,所述第一电机的输出轴与对应的所述转动杆的一端固定连接;

两个皮带轮,两个所述皮带轮分别固定套设在对应的所述转动杆上;

皮带,所述皮带套设在两个所述皮带轮之间;

圆型块,所述圆型块转动安装在滑移块上;

边位槽,所述边位槽开设在滑移块的顶部;

第二电机,所述第二电机固定安装在边位槽的底部内壁上;

两个圆形齿轮,两个所述圆形齿轮分别固定安装在圆型块和第二电机的输出轴上,两个所述圆形齿轮相啮合;

固定板,所述固定板固定安装在圆型块的顶部;

多个支撑块,多个所述支撑块均固定安装在固定板的外壁上,多个所述支撑块呈环形列阵分布;

边位板,所述边位板设在滑移块的一侧;

运动孔,所述运动孔开设在边位板上;

螺纹竖杆,所述螺纹竖杆转动安装在运动孔的顶部和底部内壁之间,所述螺纹竖杆的顶端延伸至边位板外;

第三电机,所述第三电机固定安装在边位板的顶部,所述第三电机的输出轴与螺纹竖杆的顶端固定连接。

2.根据权利要求1所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述螺纹竖杆上螺纹安装有移动块,所述移动块的一侧固定安装有第四电机,所述第四电机的输出轴上固定安装有切割刀片。

3.根据权利要求1所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述滑移块的底部镶嵌有多个滚动珠,所述滑移块的顶部开设有装设槽,所述装设槽的内壁与圆型块转动连接。

4.根据权利要求3所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述圆型块上开设有圆形槽,所述圆形槽内滑动安装有两个焊接块,两个所述焊接块分别与装设槽的内壁固定连接。

5.根据权利要求2所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述运动孔的顶部和底部内壁之间固定安装有两个接应杆,两个所述接应杆均与移动块滑动连接。

6.根据权利要求1所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述边位板的顶部和对应的所述定撑板的一侧均固定安装有固定块,两个所述固定块分别与第三电机和第一电机固定连接。

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