[实用新型]一种碳化硅芯片切割装置有效
| 申请号: | 202022282984.0 | 申请日: | 2020-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN213533295U | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
| 发明(设计)人: | 田李庄 | 申请(专利权)人: | 济南新芯微电子有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67 |
| 代理公司: | 山东明宇知信知识产权代理事务所(普通合伙) 37329 | 代理人: | 钟文强 |
| 地址: | 250000 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 碳化硅 芯片 切割 装置 | ||
1.一种碳化硅芯片切割装置,其特征在于,包括:
滑移块;
两个定撑板,两个所述定撑板分别设在滑移块的两侧;
两个转动杆,两个所述转动杆均转动安装在两个所述定撑板之间,两个所述转动杆均与滑移块螺纹连接;
第一电机,所述第一电机设在对应的所述定撑板的一侧,所述第一电机的输出轴与对应的所述转动杆的一端固定连接;
两个皮带轮,两个所述皮带轮分别固定套设在对应的所述转动杆上;
皮带,所述皮带套设在两个所述皮带轮之间;
圆型块,所述圆型块转动安装在滑移块上;
边位槽,所述边位槽开设在滑移块的顶部;
第二电机,所述第二电机固定安装在边位槽的底部内壁上;
两个圆形齿轮,两个所述圆形齿轮分别固定安装在圆型块和第二电机的输出轴上,两个所述圆形齿轮相啮合;
固定板,所述固定板固定安装在圆型块的顶部;
多个支撑块,多个所述支撑块均固定安装在固定板的外壁上,多个所述支撑块呈环形列阵分布;
边位板,所述边位板设在滑移块的一侧;
运动孔,所述运动孔开设在边位板上;
螺纹竖杆,所述螺纹竖杆转动安装在运动孔的顶部和底部内壁之间,所述螺纹竖杆的顶端延伸至边位板外;
第三电机,所述第三电机固定安装在边位板的顶部,所述第三电机的输出轴与螺纹竖杆的顶端固定连接。
2.根据权利要求1所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述螺纹竖杆上螺纹安装有移动块,所述移动块的一侧固定安装有第四电机,所述第四电机的输出轴上固定安装有切割刀片。
3.根据权利要求1所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述滑移块的底部镶嵌有多个滚动珠,所述滑移块的顶部开设有装设槽,所述装设槽的内壁与圆型块转动连接。
4.根据权利要求3所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述圆型块上开设有圆形槽,所述圆形槽内滑动安装有两个焊接块,两个所述焊接块分别与装设槽的内壁固定连接。
5.根据权利要求2所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述运动孔的顶部和底部内壁之间固定安装有两个接应杆,两个所述接应杆均与移动块滑动连接。
6.根据权利要求1所述的碳化硅芯片切割装置,其特征在于,所述边位板的顶部和对应的所述定撑板的一侧均固定安装有固定块,两个所述固定块分别与第三电机和第一电机固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济南新芯微电子有限公司,未经济南新芯微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022282984.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种骨科医生用取钉器
- 下一篇:一种具有防风效果的电子天平





