[实用新型]晶圆位移传动装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆位移传动装置，包括固定支撑机构、设于固定支撑机构上的XY轴位移机构、设于XY轴位移机构上的吸盘机构，所述XY轴位移机构包括X轴滑动装置、Y轴滑动装置，所述X轴滑动装置、Y轴滑动装置相对固定支撑机构可快速滑动，从而快速调整吸盘机构的位置；所述XY轴位移机构还包括X轴微调装置、Y轴微调装置，所述X轴微调装置、Y轴微调装置均包括第一旋转微调组件、传动连接第一旋转微调组件的传动带组件以及分离传动组件，所述分离传动组件一端可分离的连接传动带组件，另一端分别与X轴滑动装置、Y轴滑动装置传动连接。本实用新型提供的晶圆位移传动装置，实现快速移动和精准移动两种移动方式，检测效率高，准确率高好。

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试设备技术领域，具体地说，涉及一种晶圆位移传动装置。

背景技术

随着手机等智能设备对芯片需求的不断增长，智能终端厂商数量和质量要求也越来越高，导致上游芯片厂家检测和生产投入越来越多。

晶圆检测需要放置在显微镜下，通过人工观测实现。该检测过程需要手动调节晶圆在显微镜下的位置，现有的手动调节为手动直接调节晶圆的位置，调节速度快，检测效率高，但是由于显微镜放大倍数高，手动调节的方式很难控制晶圆的移动量，容易因移动超量而出现漏检和误检，检测的准确性和可靠性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆位移传动装置，检测效率高，检测准确性和可靠性好。

本实用新型公开的晶圆位移传动装置所采用的技术方案是:

一种晶圆位移传动装置，包括固定支撑机构、设于固定支撑机构上的XY轴位移机构，以及设于XY轴位移机构上的用于吸附固定晶圆的吸盘机构，所述XY轴位移机构用于驱动吸盘机构在XY平面移动，所述XY轴位移机构包括X轴滑动装置、Y轴滑动装置，所述X轴滑动装置、Y轴滑动装置相对固定支撑机构可快速滑动，从而快速调整吸盘机构的位置；所述XY轴位移机构还包括X轴微调装置、Y轴微调装置，所述X轴微调装置、Y轴微调装置均包括第一旋转微调组件、传动连接第一旋转微调组件的传动带组件以及分离传动组件，所述分离传动组件一端可分离的连接传动带组件，另一端分别与X轴滑动装置、Y轴滑动装置传动连接。

作为优选方案，所述X轴微调装置、Y轴微调装置均还包括手动控制把手，所述手动控制把手通过刹车线连接分离传动组件。

作为优选方案，所述分离传动组件包括限位块、压缩弹簧以及传动柱；所述限位块上形成一供传动带组件的同步带穿过的通道，并在通道一侧设置挡块；所述传动柱设于通道相对另一侧，所述传动柱与刹车线连接，所述压缩弹簧设于限位块与传动柱之间，用于推动所述传动柱朝向挡块移动，从而将传动带组件的同步带夹紧。

作为优选方案，所述固定支撑机构包括基板，所述基板上开设有Y轴朝向的条形通槽；所述Y轴滑动装置设于基板下方，包括Y轴底板，所述Y轴底板上设有传动轴；所述X轴滑动装置设于基板上方，包括X轴底板，X轴底板上设有导槽，其中，所述吸盘机构设于X轴底板上，所述传动轴自条形通槽伸出，并伸入导槽内。

作为优选方案，所述导槽由若干导条围成，所述导槽包括喇叭口状的引导部以及位于引导部收口端的限位部，所述限位部用于与传动轴配合传动。

作为优选方案，还包括用于精确旋转所述吸盘机构的旋转装置，所述旋转装置包括旋转传动带组件以及驱动旋转传动带组件的第二旋转微调组件。

作为优选方案，所述旋转传动带组件包括旋转传动带、与旋转传动带啮合的若干旋转同步轮，其中一所述旋转同步轮与吸盘机构同轴连接，另一所述旋转同步轮与第二旋转微调组件同轴连接。

作为优选方案，所述手动控制把手设置于X轴底板下端面边缘，所述第二旋转微调组件设置于X轴底板下端面边缘，且靠近所述手动控制把手。

作为优选方案，所述第一旋转微调组件设置于基板下端面边缘，且靠近所述手动控制把手设置。