[实用新型]一种无篮晶圆多清洗槽清洗装置

权利要求书

1.一种无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，包括：

水平输送滑台(1)；

无篮晶圆抓取机械手(3)，用于抓取晶圆并在升降机构(2)动作下带动晶圆(9)升降；

水平并列设置的第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)和第三清洗槽(6)；

所述无篮晶圆抓取机械手(3)设置在水平输送滑台(1)上，并能够达到任意一个清洗槽的上方；

所述第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)和第三清洗槽(6)均具有能够容纳晶圆的槽体(51)，且所述槽体(51)的顶部设置有第一喷管(53)，所述槽体(51)内部的底部设置有晶圆支撑架(54)；

第一喷管(53)上喷嘴斜向上设置，并能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上，水流被晶圆切开并流到晶圆的前后表面。

2.根据权利要求1所述的无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，第一喷管(53)上喷嘴对应1-3个晶圆，以使单个喷嘴喷出的清洗液或者清水能够被相应数量的晶圆切开。

3.根据权利要求1所述的无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，第一清洗槽(4)的底部还设置有第二喷管(52)，所述第二喷管(52)上的喷嘴也斜向上设置，并能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上。

4.根据权利要求3所述的无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，第一喷管(53)和第二喷管(52)能够旋转。

5.根据权利要求1所述的无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，所述第一清洗槽(4)为喷洗槽，第二清洗槽(5)为浸洗槽，第三清洗槽(6)为喷洗加浸洗槽。

6.根据权利要求1所述的无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，从晶圆支撑架(54)具有成排设置的晶圆支撑槽，晶圆支撑槽与抓取架(34)上的用于固定晶圆的梳齿一一对应。

7.根据权利要求1所述的无篮晶圆多清洗槽清洗装置，其特征在于，

所述晶圆支撑架(54)设置在升降装置上，以使清洗槽内的晶圆能够升降。