[实用新型]一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置

说明书

一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置，涉及人工晶体制备技术领域，本实用新型将动力源（1）设置在机械手（5）上，动力源的主轴与挂接在机械手上的旋转主轴（4）通过快接机构连接，这样就可以实现一个动力源驱动多个籽晶旋转盘的技术诉求，即采用一个上轴提拉系统，同时实现拉制多组硅芯的目的，本实用新型在修正由于高频线圈拉制孔内温度不一致导致硅芯椭圆，提高成品硅芯合格率的同时，还大大降低了设备的维保成本等，本实用新型具有结构简单，操作方便等特点，适合大范围的推广和应用。

【技术领域】

本实用新型涉及人工晶体制备技术领域，尤其涉及一种快速取放装置，具体涉及一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置。

【背景技术】

已知的，现有的硅芯炉一次可同时拉制五根硅芯，一炉次拉制三组共计十五根硅芯，即在上炉室的上端面设置料盘旋转电机，所述料盘旋转电机的动力输出轴连接料盘连接轴的上端，料盘连接轴的下端连接料盘，在所述料盘的左侧设有两个取料工位，在料盘的右侧设有两个放料工位，在料盘的前部设有软轴，所述软轴的上端连接设置在上炉室上端面的升降机构，软轴的下端连接机械手，在所述机械手的下面设有籽晶夹头。具体的拉制方法为在拉制前，首先在料盘左侧的取料工位上放置待用的籽晶夹头，在机械手的下面放置籽晶夹头，然后开始对炉室进行抽真空、充氩气、加热原料棒、拉制硅芯等，硅芯在拉制过程中，需要使用籽晶进行引晶，待引晶完成后进行硅芯的拉制；在此过程中，籽晶需要通过籽晶夹头夹持，待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后，籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔插入原料棒上端的熔液内，然后通过籽晶夹头带动籽晶上升，此时籽晶带动溶液上升并重新结晶，最终形成所需长度的硅芯；待一组硅芯拉制完成后，料盘旋转，将拉制好的硅芯放置在料盘右侧的放料工位上，然后料盘反转，使机械手在料盘左侧的取料工位重新抓取一个待用的籽晶夹头，开始新一组硅芯的拉制，重复上述步骤，直至多组硅芯拉制完成。

而目前本领域技术人员在拉制硅芯时，通常采用的籽晶夹头是通过在连接盘的下面固定一定数量的装有籽晶的夹持件，然后在连接盘的上面设有挂接机构，挂接机构挂接在机械手上；如中国专利、专利号为200810231413.5，公开号为CN101532170A，申请日期为2008年12月17日，专利名称为一种可调节夹头数量的籽晶夹头，其具体公开的结构就是在连接盘的下面固定一定数量的装有籽晶的夹持件，其在使用过程中无法使籽晶夹头在拉制过程中实现旋转，在拉制硅芯时无法完成对所拉制硅芯的椭圆度进行修正，也就是说通过该结构的籽晶夹头拉制出的硅芯椭圆，以直径为8mm的硅芯为例，其长轴与短轴的差值为0.6mm左右，10mm的硅芯其长轴与短轴的差值达到1.1mm左右，而12mm的硅芯其长轴与短轴的差值达到2.2mm左右，而椭圆的硅芯在还原炉内还原时不易装夹等。

为了克服上述技术问题，本领域技术人员发明了可以使籽晶转动的籽晶夹头，如中国专利、专利号为201410169006.1，公开号为CN103993353A，申请日期为2014年4月18日，专利名称为一种使籽晶转动的籽晶夹头，其具体公开的技术方案虽然可以使籽晶进行旋转，可以解决硅芯椭圆度的问题，但是该技术方案中的动力源与旋转机构直连，也就是说该结构的籽晶夹头每一个籽晶夹头上都需要配备一个动力源，动力源无法与籽晶夹头脱开，进一步，连接盘直接连接提拉装置，而每个炉室内一般都设置一套提拉装置，进而无法实现一炉次拉制多组硅芯的技术诉求，即便是在一个炉室内设置多套提拉装置实现一炉次拉制多组硅芯的技术诉求，那么就需要设置多个动力源，进而导致设备成本增加，同时还加大了设备的维保难度等。那么如何提供一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置就成了本领域技术人员的长期技术诉求。

【发明内容】

为了实现所述发明目的，本实用新型提供了一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置，本实用新型将动力源设置在机械手上，动力源的主轴与挂接在机械手上的旋转主轴通过快接机构连接，这样就可以实现一个动力源驱动多个籽晶旋转盘的技术诉求，同时还大大降低了设备的维保成本等。

为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：