[实用新型]一种用于半导体硅片快速退火的装置

权利要求书

1.一种用于半导体硅片快速退火的装置，包括炉口(1)，其特征在于，所述炉口(1)配合设置有送料装置(2)，所述送料装置(2)包括托辊(3)、输送带(4)和侧板(5)，所述托辊(3)和输送带(4)传动连接，所述侧板(5)和输送带(4)固定连接，所述侧板(5)可拆卸连接有多组石英支杆(6)，所述炉口(1)通过输送带(4)活动连接有多组硅片(7)，所述硅片(7)通过石英支杆(6)和输送带(4)配合设置，相邻所述硅片(7)之间设有挡板(8)，所述输送带(4)配合设有冷风排(9)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅片快速退火的装置，其特征在于，所述侧板(5)通过多组竖板(51)排列组成，相邻所述竖板(51)之间设有间隙(52)，所述石英支杆(6)和竖板(51)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体硅片快速退火的装置，其特征在于，其中一组所述竖板(51)设有圆孔(511)，另一组所述竖板(51)设有固定孔(512)，所述石英支杆(6)通过圆孔(511)和固定孔(512)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体硅片快速退火的装置，其特征在于，所述石英支杆(6)靠近固定孔(512)的一端设有外螺纹(61)，所述外螺纹(61)和固定孔(512)螺纹连接，所述石英支杆(6)远离固定孔(512)的一端设有转动块(62)，所述转动块(62)采用T形结构。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅片快速退火的装置，其特征在于，所述挡板(8)靠近输送带(4)的一端通过粘结板(81)和输送带(4)可拆卸连接，所述挡板(8)远离输送带(4)的一端采用弧形结构。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅片快速退火的装置，其特征在于，所述冷风排(9)设置在输送带(4)送料方向的底部，所述冷风排(9)倾斜设有多组出风口(91)，所述输送带(4)设有通风孔(41)，所述出风口(91)和通风孔(41)配合设置。