[实用新型]一种金刚石MPCVD设备用安装装置有效

专利信息
申请号: 202022228075.9 申请日: 2020-10-09
公开(公告)号: CN213999297U 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 满卫东;龚闯;朱长征;吴剑波;杨春梅 申请(专利权)人: 上海征世科技股份有限公司
主分类号: B25B27/00 分类号: B25B27/00;B25H5/00;B25H1/16;F16F15/08
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 周琼
地址: 201799 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 金刚石 mpcvd 备用 安装 装置
【说明书】:

实用新型提供一种金刚石MPCVD设备用安装装置,涉及金刚石加工技术领域,包括底板,所述底板的顶面设置有托举装置,所述底板的底面设置有缓冲装置,所述托举装置包括螺纹杆、滑杆、立块和马达,所述螺纹杆与滑杆的表面均套设有托盘,所述螺纹杆的表面靠近底板的位置处固定安装有卡块,所述螺纹杆的表面靠近卡块的位置处固定安装有齿轮,所述马达的输出端转动连接有螺杆。通过设置托举装置,以上实现了简单方便的调节托盘高度的功能,在实际使用时,可根据金刚石MPCVD设备实际的安装需要,来动态的调节托盘的高度,从而使的金刚石MPCVD设备在安装过程中,更加的方便和快速,利于实际的使用,提高了安装时的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及金刚石加工技术领域,尤其涉及一种金刚石MPCVD设备用安装装置。

背景技术

目前制备金刚石薄膜制备方法主要有化学气相沉积(CVD)和高温高压合成两种方法。其中金刚石薄膜的CVD法又主要分为微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)和热辅助化学气相沉积(HFCVD)两种。而金刚石MPCVD设备在实际使用时,需要安装在车间内,故需要使用到安装装置对其进行安装部署。

目前现有的金刚石MPCVD设备用安装装置在实际使用时,难以临时调节金刚石MPCVD设备的高度,而在实际安装过程中,往往需要来回校准安装孔等位置,需要调节金刚石MPCVD设备的高度,现有的安装装置往往难以做到,使得安装效率下降。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种金刚石MPCVD设备用安装装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种金刚石MPCVD设备用安装装置,包括底板,所述底板的顶面设置有托举装置,所述底板的底面设置有缓冲装置。

所述托举装置包括螺纹杆、滑杆、立块和马达,所述螺纹杆与滑杆的表面均套设有托盘,所述螺纹杆的表面靠近底板的位置处固定安装有卡块,所述螺纹杆的表面靠近卡块的位置处固定安装有齿轮,所述马达的输出端转动连接有螺杆。

优选的,所述缓冲装置包括连接杆,所述连接杆的一端固定安装有橡胶垫,所述连接杆的另一端固定安装有挡块,所述挡块的顶面固定安装有拉簧,所述挡块的底面固定安装有海绵垫。

优选的,所述底板的底面固定安装有万向轮,且万向轮均匀分布于底板的底面四角。

优选的,所述底板的顶面靠近边缘位置处固定安装有斜板,所述斜板为三角块体结构。

优选的,所述螺纹杆的底端与底板之间转动连接,所述滑杆的底端与底板之间固定连接。

优选的,所述托盘的内部开设有螺纹,且螺纹与螺纹杆之间相适配。

优选的,所述连接杆贯穿设置在底板的顶面,所述连接杆与底板之间滑动连接。

与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,

1、本实用新型中,通过设置托举装置,在螺纹杆、滑杆、立块、马达、托盘、卡块、齿轮和螺杆之间的相互配合下,实际使用时,将金刚石MPCVD设备通过斜板放到托盘的顶面,随后当需要临时的调节金刚石MPCVD设备的高度时,首先打开马达,随后马达带动螺杆转动,螺杆此时带动齿轮转动,齿轮此时带动螺纹杆转动,这时由于托盘内部设有螺纹,螺纹杆带动托盘运动,同时托盘通过滑杆滑动,以上实现了简单方便的调节托盘高度的功能,在实际使用时,可根据金刚石MPCVD设备实际的安装需要,来动态的调节托盘的高度,从而使的金刚石MPCVD设备在安装过程中,更加的方便和快速,利于实际的使用,提高了安装时的工作效率。

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