[实用新型]一种长晶炉稳压供气装置

说明书

本实用新型涉及一种长晶炉稳压供气装置，该长晶炉稳压供气装置，包括气源；与气源相连的主气管；多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。该长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。

技术领域

本实用新型涉及长晶炉技术领域，尤其涉及一种长晶炉稳压供气装置。

背景技术

长晶炉气体的供应一直是关系到晶体生长的一个重要因素，气体的供应，提供了晶体生长所必须的气氛环境。目前大多数企业选择的方案是通过高压气体直接输送的方式供气，但由于成本及施工难度原因，常由一个主管道输送至车间，再在主管道上分接出直接连接设备的气体管道，一般一个主管道负责10个及以上设备的供气，然后由设备自带阀门进行减压供气。这种供气方式在某台设备通气状态改变或检修时，会影响到相同主管道的其他设备，导致气相不稳定，进而影响长晶质量。特别是当串联的设备增多或供气不足时，则更加剧了设备之间的相互干扰。若每台设备单独供气则资金花费巨大、且线路过于复杂不易维护。

实用新型内容

本实用新型为了弥补现有技术的不足，提供了一种长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种长晶炉稳压供气装置，包括气源；

与气源相连的主气管；

多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；

稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。

可选的，所述稳压系统还包括设于第二减压稳压阀和第一减压稳压阀之间的第二气瓶。

可选的，所述第二气瓶设于主气管上。

可选的，所述第二气瓶的进气管道和出气管道上还分别设有第一开关阀。

可选的，所述稳压系统还包括连接于主气管末端的第三气瓶，所述支气管连接于第二气瓶和第三气瓶之间的主气管上。

可选的，所述第三气瓶与所述支气管之间的主气管上还设有第二开关阀。

可选的，所述稳压系统还包括连接于气源和第二减压稳压阀之间的备用管，所述备用管与所述第一气瓶并联，所述备用管上设有第三开关阀；

第一气瓶的出气管道上还设有第三稳压减压阀或/和第四开关阀。

可选的，长晶炉稳压供气装置还包括柜体，所述稳压系统集成设置在所述柜体中。

可选的，所述第三开关阀或第四开关阀采用球阀。

可选的，第一气瓶和气源之间还设有第五开关阀。

长晶炉供气装置，在使用时，由于同时供气个多个设备，必须保证供气压力，因此一般主气管设置的比较细，如此，在改变供气状态时，对其他设备影响较大，影响长晶质量。本实用新型能产生的优异效果包括但不限于：

1、本申请，在供气充足时，第一气瓶可以储存一部分气体，之后气体依次经过第二减压稳压阀、第一减压稳压阀，可以使得具有一定压力的气体比较平稳的达到长晶炉所需的气体压力和流量，此时，增压阀可以设置为不起作用。