[实用新型]一种长晶炉稳压供气装置有效
| 申请号： | 202022221472.3 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213394635U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴殿瑞;李博;裴卫博 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17C7/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 长晶炉 稳压 供气 装置 | ||
1.一种长晶炉稳压供气装置，其特征在于，包括：
气源；
与气源相连的主气管；
多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；
稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。
2.根据权利要求1所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述稳压系统还包括设于第二减压稳压阀和第一减压稳压阀之间的第二气瓶。
3.根据权利要求2所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第二气瓶设于主气管上。
4.根据权利要求3所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第二气瓶的进气管道和出气管道上还分别设有第一开关阀。
5.根据权利要求1或2所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述稳压系统还包括连接于主气管末端的第三气瓶，所述支气管连接于第二气瓶和第三气瓶之间的主气管上。
6.根据权利要求5所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第三气瓶与所述支气管之间的主气管上还设有第二开关阀。
7.根据权利要求1或3所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述稳压系统还包括连接于气源和第二减压稳压阀之间的备用管，所述备用管与所述第一气瓶并联，所述备用管上设有第三开关阀；
第一气瓶的出气管道上还设有第三稳压减压阀或/和第四开关阀。
8.根据权利要求7所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，长晶炉稳压供气装置还包括柜体，所述稳压系统集成设置在所述柜体中。
9.根据权利要求7所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第三开关阀或第四开关阀采用球阀。
10.根据权利要求1所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，第一气瓶和气源之间还设有第五开关阀。
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