[实用新型]一种麦克风芯片及麦克风有效
| 申请号： | 202022220423.8 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN212910045U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 麦克风 芯片 | ||
1.一种麦克风芯片，包括振膜(1)和背板(3)，其特征在于，所述振膜(1)上设置有贯通所述振膜(1)的第一泄气孔(111)和第二泄气孔(112)，所述背板(3)上设置有贯通所述背板(3)的第一声孔(331)和第二声孔(332)，每个所述第一泄气孔(111)在所述背板(3)上的投影均落入一所述第一声孔(331)的范围内，每个所述第二泄气孔(112)在所述背板(3)上的投影均落入一所述第二声孔(332)的范围内，所述第一泄气孔(111)为封闭性孔，所述第二泄气孔(112)为狭长状的非封闭性孔，所述第一声孔(331)在所述振膜(1)上的投影面积小于所述第二声孔(332)在所述振膜(1)上的投影面积。
2.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第二泄气孔(112)的孔宽大于0且小于等于5um，所述第二泄气孔(112)的孔长为10～100um。
3.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第二泄气孔(112)呈U型、圆弧形或非封闭多边形。
4.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第一泄气孔(111)在所述背板(3)上的投影为第一圆形或者第一封闭多边形，所述第一圆形的半径为0-50um，所述第一封闭多边形的边长为0-50um。
5.根据权利要求4所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第一泄气孔(111)的中心与所述第一声孔(331)的中心正对。
6.根据权利要求1-5任一项所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第一泄气孔(111)和所述第二泄气孔(112)均环绕所述振膜(1)的中心间隔设置有多个。
7.根据权利要求6所述的麦克风芯片，其特征在于，且所述第一泄气孔(111)所在圆周与所述第二泄气孔(112)所在圆周同心且间隔设置。
8.根据权利要求1-5任一项所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第一声孔(331)在所述振膜(1)上的投影为第二圆形或第二封闭多边形，所述第二圆形的半径为8～50um，所述第二封闭多边形的边长为8～50um。
9.根据权利要求1-5任一项所述的麦克风芯片，其特征在于，所述第二声孔(332)为第三圆形或第三封闭多边形，所述第三圆形的半径为10～100um，所述第三封闭多边形的边长为10～100um。
10.一种麦克风，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的麦克风芯片。
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