[实用新型]连续镀膜溅镀系统

说明书

连续镀膜溅镀系统，包括吹扫室（3）和真空镀膜室（6），吹扫室（3）内设置辊轴输送装置（11），辊轴输送装置（11）上方依次设置清扫头（10）和吸尘口（8）；清扫头（10）通过转轴（9）连接伺服电机（1），伺服电机（1）固定在吹扫室（3）顶面；吸尘口（8）与吸尘管（7）连接，吸尘管（7）上设置电磁阀一（2）；吹扫室（3）和真空镀膜室（6）之间设置分隔板（4），分隔板（4）上设置输送口（12），辊轴输送装置（11）通过传输板（13）与镀膜架（14）连接；镀膜架（14）设置在镀膜室（6）内，镀膜室（6）顶部设置抽真空管（5）。本实用新型通过增设清扫头和吸尘口确保被镀塑料件无灰尘，提高溅镀质量。

技术领域

本实用新型涉及连续镀膜溅镀系统。

背景技术

溅镀是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。在溅镀塑料件的时候，由于灰尘附在塑料件表面，造成溅镀或蒸镀时此区域没有被镀上而出现透光。

实用新型内容

为了解决以上技术问题，本实用新型提供连续镀膜溅镀系统，包括吹扫室和真空镀膜室，吹扫室内设置辊轴输送装置，辊轴输送装置上方依次设置清扫头和吸尘口；清扫头通过转轴连接伺服电机，伺服电机固定在吹扫室顶面；吸尘口与吸尘管连接，吸尘管上设置电磁阀一；吹扫室和真空镀膜室之间设置分隔板，分隔板上设置输送口，辊轴输送装置通过传输板与镀膜架连接；镀膜架设置在镀膜室内，镀膜室顶部设置抽真空管。

进一步的，吸尘管贯穿出吹扫室顶面，电磁阀一设置在吹扫室外的吸尘管上，有利于控制塑料板的吸尘及后续输送。

进一步的，抽真空管贯穿出镀膜室顶面，电磁阀二设置在镀膜室外的抽真空管上。

进一步的，辊轴输送装置的传输皮带两侧设置橡胶挡板。

本实用新型通过增设清扫头和吸尘口确保被镀塑料件无灰尘，提高溅镀质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中，1.伺服电机，2.电磁阀一，3.吹扫室，4.分隔板，5.抽真空管，6.镀膜室，7.吸尘管，8.吸尘口，9.转轴，10.清扫头，11.辊轴输送装置，12.输送口，13.传输板，14.镀膜架，15.电磁阀二。

具体实施方式

如图1所示，连续镀膜溅镀系统，包括吹扫室3和真空镀膜室6，吹扫室3内设置辊轴输送装置11，辊轴输送装置11上方依次设置清扫头10和吸尘口8；清扫头10通过转轴9连接伺服电机1，伺服电机1固定在吹扫室3顶面；吸尘口8与吸尘管7连接，吸尘管7上设置电磁阀一2；吹扫室3和真空镀膜室6之间设置分隔板4，分隔板4上设置输送口12，辊轴输送装置11通过传输板13与镀膜架14连接；镀膜架14设置在镀膜室6内，镀膜室6顶部设置抽真空管5。辊轴输送装置11为起传输作用的现有技术，传输辊轴上设置传输皮带，传输辊轴通过电机驱动，带动传输皮带传输。辊轴输送装置11的传输皮带两侧设置橡胶挡板16，避免塑料板掉落。

吸尘管7贯穿出吹扫室3顶面，电磁阀一2设置在吹扫室3外的吸尘管7上。

抽真空管（5）贯穿出真空镀膜室6顶面，电磁阀二15设置在真空镀膜室6外的抽真空管5上。

伺服电机1、电磁阀一2、电磁阀二15和辊轴输送装置11与外部PLC控制器电连接。

清扫头10将塑料件的灰尘扫除，再吸尘器吸，确保灰尘清除干净，辊轴输送装置11将干净的塑料件传输给镀膜架14，镀膜室6进行抽真空溅镀。