[实用新型]连续镀膜溅镀系统有效
申请号: | 202022202365.6 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN214529219U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 周兴 | 申请(专利权)人: | 启东申通电子机械配件有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 蒯建伟 |
地址: | 226200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 镀膜 系统 | ||
1.连续镀膜溅镀系统,其特征在于:包括吹扫室(3)和真空镀膜室(6),吹扫室(3)内设置辊轴输送装置(11),辊轴输送装置(11)上方依次设置清扫头(10)和吸尘口(8);清扫头(10)通过转轴(9)连接伺服电机(1),伺服电机(1)固定在吹扫室(3)顶面;吸尘口(8)与吸尘管(7)连接;吹扫室(3)和真空镀膜室(6)之间设置分隔板(4),分隔板(4)上设置输送口(12),辊轴输送装置(11)通过传输板(13)与镀膜架(14)连接;镀膜架(14)设置在真空镀膜室(6)内,真空镀膜室(6)顶部设置抽真空管(5)。
2.按照权利要求1所述的连续镀膜溅镀系统,其特征在于:所述吸尘管(7)上设置电磁阀一(2)。
3.按照权利要求1所述的连续镀膜溅镀系统,其特征在于:所述抽真空管(5)上设置电磁阀二(15)。
4.按照权利要求1所述的连续镀膜溅镀系统,其特征在于:所述辊轴输送装置(11)的传输皮带两侧设置橡胶挡板(16)。
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