[实用新型]一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件有效
申请号: | 202022193206.4 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN212505061U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 王彤 | 申请(专利权)人: | 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/52 |
代理公司: | 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人: | 雍常明 |
地址: | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 cvd 涂层 设备 加热 组件 | ||
本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,且公开了一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,包括外框,所述外框的外侧固定安装有拼装吊装块,所述外框的底部分别固定安装有支脚与底部托板,所述外框的内部固定安装有耐火材料,所述耐火材料的内部嵌装有电阻丝,该用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,通过用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,代替一个整体的形式,因而可分别独立控制多个加热丝组件,也可差异化控制各加热丝组件的温度,因采用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,每个加热丝组件体积和重量相对于一个整体的加热丝组件而言,体积要小,重量又轻,方便安装和维护。
技术领域
本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,具体为一种用于 CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件。
背景技术
CVD是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法,尤其是薄膜形成方法,化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行,所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜,可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能,这通过排气管路来实现,经过涂层的切削刀具、工模具的使用寿命会大大提高,经过涂层的零部件更加耐腐蚀和耐磨损。
目前常见的技术中主要以整个加热罩内只有一个整体的大尺寸加热丝组件,这种方式是单一一个整体的加热丝组件,体积大,重量重,不便于安装,而且加热罩本身不带测温热电偶,通过被加热物体温度反馈来控制加热罩的加热频率,这种结构在某个位置的电阻丝烧断的话,需要更换整个加热丝组件,成本高昂,也无法测定加热丝组件本身的温度。
实用新型内容
技术方案
为实现上述体积要小,重量又轻,方便安装和维护,可以更好的控制加热的温度均匀性目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,包括外框,所述外框的外侧固定安装有拼装吊装块,所述外框的底部分别固定安装有支脚与底部托板,所述外框的内部固定安装有耐火材料,所述耐火材料的内部嵌装有电阻丝,所述电阻丝的一端贯穿通过外框固定安装有加热电阻丝接线端,所述耐火材料的外侧套装有含镐毯,所述耐火材料的内部开设有测温热电偶插入孔,所述测温热电偶插入孔的一端固定安装有测温热电偶固定座。
优选的,所述电阻丝采用螺旋型绕线方式分层并环形均匀布置的方式嵌入在环形的耐火材料的内部,或采用将电阻丝绕制成波浪形或跑道型方式并均匀分布地挂在预先埋有挂钩的耐火材料表面的方式。
优选的,所述耐火材料的形状为圆环状,是以两块半圆形状拼接而成,也可采用两块以上的圆环形状拼接而成。
优选的,所述含镐毯的外圈包裹上外框。
优选的,所述测温热电偶固定座的一端经由测温热电偶插入孔延伸至电阻丝的附近。
有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,具备以下有益效果:
1、该用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,通过用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,代替一个整体的形式,因而可分别独立控制多个加热丝组件,也可差异化控制各加热丝组件的温度,因采用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,每个加热丝组件体积和重量相对于一个整体的加热丝组件而言,体积要小,重量又轻,方便安装和维护。
2、该用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,在一个加热丝组件电阻丝烧断的情况下,只需更换这一烧断电阻丝的加热丝组件,而无需全部更换所有的加热丝组件,大大节约的成本,每组加热丝组件均带有测温热电偶,可以更好的控制加热的温度均匀性。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图;
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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