[实用新型]一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件

权利要求书

1.一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，包括外框(1)，其特征在于：所述外框(1)的外侧固定安装有拼装吊装块(2)，所述外框(1)的底部分别固定安装有支脚(5)与底部托板(7)，所述外框(1)的内部固定安装有耐火材料(8)，所述耐火材料(8)的内部嵌装有电阻丝(9)，所述电阻丝(9)的一端贯穿通过外框(1)固定安装有加热电阻丝接线端(3)，所述耐火材料(8)的外侧套装有含镐毯(6)，所述耐火材料(8)的内部开设有测温热电偶插入孔(10)，所述测温热电偶插入孔(10)的一端固定安装有测温热电偶固定座(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，其特征在于：所述电阻丝(9)采用螺旋型绕线方式分层并环形均匀布置的方式嵌入在环形的耐火材料(8)的内部，或采用将电阻丝(9)绕制成波浪形或跑道型方式并均匀分布地挂在预先埋有挂钩的耐火材料(8)表面的方式。

3.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，其特征在于：所述耐火材料(8)的形状为圆环状，是以两块半圆形状拼接而成，也可采用两块以上的圆环形状拼接而成。

4.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，其特征在于：所述含镐毯(6)的外圈包裹上外框(1)。

5.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，其特征在于：所述测温热电偶固定座(4)的一端经由测温热电偶插入孔延伸至电阻丝(9)的附近。