[实用新型]一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备有效
申请号: | 202022175051.1 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN213505988U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 姚尚兵;张光远 | 申请(专利权)人: | 上海皓越电炉技术有限公司 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068 |
代理公司: | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人: | 鲁晓瑞 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 氮化 硅粉体 合成 热处理 设备 | ||
1.一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,包括氮化炉主体,所述氮化炉主体的中部设置有加热腔,其特征在于:所述氮化炉主体的顶部设置有压框,所述压框的中部滑动连接有顶盖,所述顶盖的上端连接有推杆,所述推杆的一端转动连接有控制丝杆,所述控制丝杆的一端安装有第一驱动电机,所述加热腔的上端开设有进气口,所述加热腔的下端开设有出气口,所述进气口和出气口通过循环管道相连通,所述循环管道的中部安装有循环风机,所述加热腔的底部转动连接有支撑框,所述支撑框的外圈开设有通气槽。
2.根据权利要求1所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述氮化炉主体的两侧安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的伸长端与压框相连接。
3.根据权利要求1所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述支撑框的内腔设置有放置台,所述支撑框的底部固定有转轴,所述转轴的底部贯穿氮化炉主体设置,所述转轴的底部通过齿轮转动连接有第二驱动电机。
4.根据权利要求3所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述支撑框上的通气槽倾斜向下设置,所述支撑框设置在出气口处。
5.根据权利要求3所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述支撑框的底部开设有倾斜通槽,所述支撑框的中部下方设置有导风环。
6.根据权利要求1所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述循环管道的内壁设有耐高温层,所述循环管道的外圈包裹有保温层。
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