[实用新型]一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备有效

专利信息
申请号: 202022175051.1 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN213505988U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 姚尚兵;张光远 申请(专利权)人: 上海皓越电炉技术有限公司
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 代理人: 鲁晓瑞
地址: 201800 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 氮化 硅粉体 合成 热处理 设备
【权利要求书】:

1.一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,包括氮化炉主体,所述氮化炉主体的中部设置有加热腔,其特征在于:所述氮化炉主体的顶部设置有压框,所述压框的中部滑动连接有顶盖,所述顶盖的上端连接有推杆,所述推杆的一端转动连接有控制丝杆,所述控制丝杆的一端安装有第一驱动电机,所述加热腔的上端开设有进气口,所述加热腔的下端开设有出气口,所述进气口和出气口通过循环管道相连通,所述循环管道的中部安装有循环风机,所述加热腔的底部转动连接有支撑框,所述支撑框的外圈开设有通气槽。

2.根据权利要求1所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述氮化炉主体的两侧安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的伸长端与压框相连接。

3.根据权利要求1所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述支撑框的内腔设置有放置台,所述支撑框的底部固定有转轴,所述转轴的底部贯穿氮化炉主体设置,所述转轴的底部通过齿轮转动连接有第二驱动电机。

4.根据权利要求3所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述支撑框上的通气槽倾斜向下设置,所述支撑框设置在出气口处。

5.根据权利要求3所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述支撑框的底部开设有倾斜通槽,所述支撑框的中部下方设置有导风环。

6.根据权利要求1所述的一种制备氮化硅粉体的氮化合成热处理设备,其特征在于:所述循环管道的内壁设有耐高温层,所述循环管道的外圈包裹有保温层。

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