[实用新型]一种防反溅射物剥落的靶材有效
| 申请号： | 202022156696.0 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN213417001U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李宁 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防反 溅射 剥落 | ||
1.一种防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述防反溅射物剥落的靶材的上表面边缘设置有倒角，所述倒角的表面设置有第三滚花花纹区；
所述防反溅射物剥落的靶材上表面边缘，由外向内依次有第二滚花花纹区以及第一滚花花纹区；
所述第一滚花花纹区中的花纹为四棱台状花纹，花纹大小为10-30TPI。
2.根据权利要求1所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第一滚花花纹区中的花纹深度为300-500μm。
3.根据权利要求2所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第一滚花花纹区等宽设置，宽度为3-6mm。
4.根据权利要求1所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第二滚花花纹区的花纹为四棱台状花纹，花纹大小为30-50TPI。
5.根据权利要求4所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第二滚花花纹区中的花纹深度为200-300μm。
6.根据权利要求5所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第二滚花花纹区等宽设置，宽度为3-4mm。
7.根据权利要求1所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述倒角平面与靶材上表面的夹角为60-80°。
8.根据权利要求7所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第三滚花花纹区布满倒角的表面。
9.根据权利要求8所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述第三滚花花纹区中的为四棱台状花纹，花纹大小为60-80TPI；花纹深度为200-300μm。
10.根据权利要求1所述的防反溅射物剥落的靶材，其特征在于，所述防反溅射物剥落的靶材的下表面设置有第四滚花花纹区；
所述第四滚花花纹区的花纹为四棱锥形花纹，花纹大小为40-60TPI，花纹深度为300-400μm。
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