[实用新型]一种反应釜气态氟回收再利用装置

权利要求书

1.一种反应釜气态氟回收再利用装置，其特征在于，包括氮气罐、反应釜、吸收塔、水箱、尾气收集罐和控制中心，所述反应釜上部的一侧设有氮气进口、另一侧设有混气出口，所述氮气进口通过带有气泵和第一电磁阀的氮气输送管与氮气罐连通，所述混气出口通过带有第二电磁阀的混气输送管与吸收塔下部一侧连通，所述吸收塔下部另一侧连通有回流管，所述回流管上间隔设有第三电磁阀和第四电磁阀且该回流管尾端与尾气收集罐连通，所述吸收塔顶部通过带有抽风机的排气管路连通在第三电磁阀和第四电磁阀之间的回流管上，所述排气管路和混气输送管的首端上均设有氟气传感器和氟化氢传感器，所述混气输送管尾端伸入吸收塔内并朝上固定连接有气体分布器，所述气体分布器与吸收塔顶部之间的吸收塔内由下至上依次设有呈螺旋状的喷淋盘管、阻流板和吸附网板，所述喷淋盘管底面沿其螺旋方向间隔均布有若干雾化喷嘴，所述喷淋盘管外端部伸出吸收塔并通过进水管与水箱连通，所述进水管上设有水泵和进水电磁阀，所述第一至第四电磁阀、进水电磁阀、气泵、水泵、抽风机、氟气传感器和氟化氢传感器均与控制中心电连接。

2.根据权利要求1所述的反应釜气态氟回收再利用装置，其特征在于，所述阻流板包括板体，所述板体顶面中心固设有密封罩，所述密封罩上部侧壁上开设有若干气孔，所述密封罩内上下滑动设有挡板，所述挡板顶面与密封罩内顶部之间固定连接有压缩弹簧，所述密封罩对应的板体上开设有通气槽。

3.根据权利要求1所述的反应釜气态氟回收再利用装置，其特征在于，所述吸附网板由上、下两层网板和填充于两层网板之间的氧化铝组成。

4.根据权利要求1所述的反应釜气态氟回收再利用装置，其特征在于，所述吸收塔内底部为朝向一侧向下倾斜的斜面，所述斜面较低一端对应的吸收塔侧壁上连通有排液管，所述排液管上设有排液阀。

5.根据权利要求1所述的反应釜气态氟回收再利用装置，其特征在于，所述雾化喷嘴为螺旋式雾化喷嘴。

6.根据权利要求1所述的反应釜气态氟回收再利用装置，其特征在于，所述反应釜顶部设有进料口和氟气进口、底部设有出料口，所述进料口和氟气进口上均铰接设有密封盖，所述出料口上设有出料阀。