[实用新型]用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置

说明书

本实用新型公开了一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置。所述防位移装置包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通。本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，能够与晶圆检测仪器配合使用，从而在晶圆的运动过程中实现对整张晶圆的检测，且能够保持在检测的运动过程中保持晶圆不会移动，进而可以有效防止晶圆在检测仪器测试时瞬动所导致的位移现象。

技术领域

本实用新型特别涉及一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置，属于半导体技术领域。

背景技术

芯片在移动检测中，需要将晶圆固定在工作台上，现有的检测装置一般是通过抽真空装置把晶圆固定吸附在工作台面上，然而，这种硬接触虽能能够有效固定晶圆，但不可避免的会造成晶圆背部的镀膜面被划伤，进而造成晶圆损伤、损坏，进而导致晶圆的检测结果误差以及晶圆无法继续使用的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置，以克服现有技术中的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及

所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通；

其中，所述晶圆包括第一部分和第二部分，所述第二部分具有待检测的区域，当待检测的晶圆被安置于所述收容槽内的支撑部件上且所述底座和盖板固定结合时，所述晶圆被固定于所述收容腔内，至少所述晶圆的第二部分的待检测区域自所述窗口处露出，并且所述晶圆的第二部分与所述盖板、底座无直接接触。

本实用新型实施例提供了一种晶圆检测装置，包括检测机构、驱动机构和固定夹具，所述驱动机构与所述固定夹具传动配合并能够驱使所述固定夹具沿预设轨迹移动，其中，所述固定夹具包括所述的用于实现晶圆移动检测的防位移装置。

与现有技术相比，本实用新型的优点包括：

1)本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，结构简单，使用方便，其能通过磁性吸引的方式使底座和盖板固定结合，并将所述底座和盖板之间的吸力转化为施加于晶圆上的压力，从而实现对晶圆的固定；

2)本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置的底座具有收容槽，盖板上具有窗口，晶圆固定在底座和盖板之间时，其第二部分不会直接与底座和盖板接触，因此可以防止晶圆(主要是晶圆背面的镀膜)被划伤；

3)本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，能够与晶圆检测仪器配合使用，从而在晶圆的运动过程中实现对整张晶圆的检测，且能够保持在检测的运动过程中保持晶圆不会移动，进而可以有效防止晶圆在检测仪器测试时瞬动所导致的位移现象。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一典型实施案例中一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置的俯视图；

图2是本实用新型一典型实施案例中一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置的底座的剖面结构示意图；

图3是图1中A-A处的剖面结构示意图；