[实用新型]用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置

权利要求书

1.一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及

所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通；

其中，所述晶圆包括第一部分和第二部分，所述第二部分具有待检测的区域，当待检测的晶圆被安置于所述收容槽内的支撑部件上且所述底座和盖板固定结合时，所述晶圆被固定于所述收容腔内，至少所述晶圆的第二部分的待检测区域自所述窗口处露出，并且所述晶圆的第二部分与所述盖板、底座无直接接触。

2.根据权利要求1所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板、底座和支撑部件直接与所述晶圆的第一部分接触，从而将所述晶圆固定夹持在所述底座、支撑部件和盖板之间。

3.根据权利要求2所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述晶圆的第一部分环绕第二部分分布。

4.根据权利要求2所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述支撑部件设置在所述收容槽的侧壁和/或槽底，当所述待检测的晶圆被安置于所述收容槽内时，所述晶圆的第一部分直接与所述支撑部件接触，且至少是所述晶圆的第二部分与所述收容槽的槽底之间具有间隙。

5.根据权利要求4所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述支撑部件包括沿所述收容槽的周向间隔分布的多个凸起部，所述凸起部自所述收容槽的侧壁沿底座的径向方向延伸形成，或者，所述凸起部自所述收容槽的槽底沿底座的轴向方向延伸形成。

6.根据权利要求4所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述支撑部件为沿所述收容槽的周向连续分布的环形凸起部，所述环形凸起部自所述收容槽的侧壁沿底座的径向方向延伸形成，或者，所述环形凸起部自所述收容槽的槽底沿底座的轴向方向延伸形成。

7.根据权利要求6所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述环形凸起部同时与所述收容槽的侧壁、槽底固定结合，并且，所述环形凸起部与所述槽底配合形成台阶结构。

8.根据权利要求2所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述盖板为环形构件；和/或，所述盖板与所述晶圆接触的区域为连续的平面或曲面，或者，所述盖板与所述晶圆接触的区域具有与所述晶圆相匹配的台阶结构；

和/或，所述晶圆具有侧面以及背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面均具有第一区域和第二区域，其中，所述第一区域位于所述晶圆的第一部分上，所述第二区域位于所述晶圆的第二部分上；

当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板、支撑部件分别直接与所述晶圆的第一表面、第二表面的第一区域无间隙的贴合，所述底座收容槽的侧壁与晶圆的侧面无间隙的贴合，从而将所述晶圆固定夹持在所述底座、支撑部件和盖板之间，同时，所述晶圆第一表面的第二区域自所述窗口处露出，所述晶圆第二表面的第二区域与所述收容槽的槽底之间具有间隙。

9.根据权利要求1所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述盖板和底座通过磁性吸附的方式固定结合；

和/或，所述盖板和底座中的一者为具有磁性的磁体，另一者为磁性金属构件，

或者，所述盖板和底座均为具有磁性的磁体，并且，所述盖板和底座的磁性相反；

或者，所述盖板和底座中的一者为磁性金属构件，另一者内可拆卸地嵌设有多个磁体，所述多个磁体环绕所述窗口或收容槽分布；

或者，所述盖板和底座均为磁性金属构件，所述盖板和底座中的至少一者上设置有多个安装孔，所述多个安装孔环绕所述窗口或收容槽分布，所述安装孔内可拆卸地设置有磁体。

10.一种晶圆检测装置，包括检测机构、驱动机构和固定夹具，所述驱动机构与所述固定夹具传动配合并能够驱使所述固定夹具沿预设轨迹移动，其特征在于：所述固定夹具包括权利要求1-9中任一项所述的用于实现晶圆移动检测的防位移装置。