[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底座，所述底座上端设有镀膜机本体，镀膜机本体上端设有电机箱，电机箱内设有电机，所述底座的上端位于镀膜机本体的右端设有保护壳，保护壳的内部设有真空泵。本实用新型，当镀膜机工作时，打开真空泵，通过真空管将镀膜机本体内的空气进行抽取，再通过排气管将空气排出，然后打开加热箱，通过加热棒对加热箱内的空气进行加热，引流扇的风力可将单项阀上的阀瓣顶开，通过引流扇将加热后的空气排进镀膜机本体内，对镀膜机本体内部进行加热，通过温度控制器控制镀膜机本体内的温度，当温度达到预定值时关闭引流扇，单项阀关闭停止对镀膜机本体的内部吹热风，从而完成控温效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机，具体是一种高压离子轰击的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机在使用过程中，随着温度越高，晶粒粗大，降低了膜层的硬度，没有控温装置，无法保证真空镀膜机镀膜的质量，降低了真空镀膜机镀膜的效率。

因此，本实用新型提供了一种高压离子轰击的真空镀膜机，以解决上述提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高压离子轰击的真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底座，所述底座上端设有镀膜机本体，镀膜机本体上端设有电机箱，电机箱内设有电机，所述底座的上端位于镀膜机本体的右端设有保护壳，保护壳的内部设有真空泵，真空泵的上端设有真空管，所述真空泵的下端设有排气管，所述底座上端位于镀膜机本体的左端设有加热箱，所述加热箱的右端设有若干引导管二，所述加热箱的上端设有连接管，所述连接管的右端设有若干引导管一，所述引导管一和引导管二的内部均设有引流扇，所述引导管一和引导管二的内部位于引流扇的右侧均设有单项阀，单项阀上均设有阀瓣；

所述镀膜机本体的内部设有镀膜组件，镀膜组件的上下两端均设有转动盘，所述镀膜组件下端通过转动盘与镀膜机本体连接，所述镀膜组件的左右两端均设有连接杆，且连接杆上设有若杆夹具，所述镀膜机本体内部顶端右侧设有温度控制器。

作为本实用新型进一步的方案，所述加热箱内设有若干加热棒。

作为本实用新型再进一步的方案，所述引导管二均匀的分布在加热箱的右端，且引导管二的右端穿过镀膜机本体的左侧壁。

作为本实用新型再进一步的方案，所述引导管一均匀的分布在连接管的右端，且引导管一的有端穿过镀膜机本体的左侧壁。

作为本实用新型再进一步的方案，所述转动盘的上端设有转动杆，转动杆与电机的电机轴连接。

作为本实用新型再进一步的方案，所述温度控制器与镀膜机本体固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型使用时，当镀膜机工作时，打开真空泵，通过真空管将镀膜机本体内的空气进行抽取，再通过排气管将空气排出，然后打开加热箱，通过加热棒对加热箱内的空气进行加热，引流扇的风力可将单项阀上的阀瓣顶开，通过引流扇将加热后的空气排进镀膜机本体内，对镀膜机本体内部进行加热，通过温度控制器控制镀膜机本体内的温度，当温度达到预定值时关闭引流扇，单项阀关闭停止对镀膜机本体的内部吹热风，从而完成控温效果。

附图说明

图1为一种高压离子轰击的真空镀膜机的结构示意图。

图2为一种高压离子轰击的真空镀膜机中的立体图。