[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机有效
申请号: | 202022103912.5 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN213925004U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 曾宇 | 申请(专利权)人: | 东莞市铭鸿真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54 |
代理公司: | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 | 代理人: | 夏龙 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高压 离子 轰击 真空镀膜 | ||
1.一种高压离子轰击的真空镀膜机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上端设有镀膜机本体(13),镀膜机本体(13)上端设有电机箱(2),电机箱(2)内设有电机(3),所述底座(1)的上端位于镀膜机本体(13)的右端设有保护壳(4),保护壳(4)的内部设有真空泵(5),真空泵(5)的上端设有真空管(6),所述真空泵(5)的下端设有排气管(7),所述底座(1)上端位于镀膜机本体(13)的左端设有加热箱(8),所述加热箱(8)的右端设有若干引导管二(21),所述加热箱(8)的上端设有连接管(10),所述连接管(10)的右端设有若干引导管一(11),所述引导管一(11)和引导管二(21)的内部均设有引流扇(12),所述引导管一(11)和引导管二(21)的内部位于引流扇(12)的右侧均设有单项阀(14),单项阀(14)上均设有阀瓣(15);
所述镀膜机本体(13)的内部设有镀膜组件(16),镀膜组件(16)的上下两端均设有转动盘(17),所述镀膜组件(16)下端通过转动盘(17)与镀膜机本体(13)连接,所述镀膜组件(16)的左右两端均设有连接杆(18),且连接杆(18)上设有若干夹具(19),所述镀膜机本体(13)内部顶端右侧设有温度控制器(20)。
2.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于,所述加热箱(8)内设有若干加热棒(9)。
3.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于,所述引导管二(21)均匀的分布在加热箱(8)的右端,且引导管二(21)的右端穿过镀膜机本体(13)的左侧壁。
4.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于,所述引导管一(11)均匀的分布在连接管(10)的右端,且引导管一(11)的右端穿过镀膜机本体(13)的左侧壁。
5.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于,所述转动盘(17)的上端设有转动杆(22),转动杆(22)与电机(3)的电机轴连接。
6.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于,所述温度控制器(20)与镀膜机本体(13)固定连接。
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