[实用新型]一种镀膜设备中的加热传感装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜设备中的加热传感装置，涉及镀膜技术领域，本实用新型包括工作台、加热装置、水箱以及镀膜反应釜，工作台一表面与加热装置下表面焊接，加热装置包括加热装置本体、支撑架以及绝缘柱，若干支撑架一端均与加热装置本体下表面连接，绝缘柱周侧面与支撑架一表面焊接，加热装置一表面与水箱一侧表面连接，水箱包括水箱本体、进水管以及第一控制阀门，进水管一端与水箱本体一侧表面连接，第一控制阀门安装于进水管周侧面，水箱一表面设有安装槽，镀膜反应釜下表面与安装槽连接，本实用新型中，通过交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜设备中的加热传感装置。

背景技术

常见的镀膜的方式可分为物理气相沉积与化学气相沉积，物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、离子镀膜、电弧等离子体镀以及分子束外延等，化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，而镀膜工作过程中提供热量的便是加热传感装置。

目前，现有的加热传感装置一般为电阻式加热，但是这种加热方式存在较多缺点，容易出现加热不均匀，而且电阻丝加热过程中电阻发生变化，工作效率变低，因此，需要一种镀膜设备中的加热传感装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种镀膜设备中的加热传感装置，可以有效解决现有加热传感装置一般为电阻式加热，但是这种加热方式存在较多缺点，容易出现加热不均匀，而且电阻丝加热过程中电阻发生变化，工作效率变低等问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种镀膜设备中的加热传感装置，包括工作台、加热装置、水箱以及镀膜反应釜，所述工作台一表面与加热装置下表面焊接，所述加热装置包括加热装置本体、支撑架以及绝缘柱，若干所述支撑架一端均与加热装置本体下表面连接，所述绝缘柱周侧面与支撑架一表面焊接，所述加热装置一表面与水箱一侧表面连接，所述水箱包括水箱本体、进水管以及第一控制阀门，所述进水管一端与水箱本体一侧表面连接，所述第一控制阀门安装于进水管周侧面，所述水箱一表面设有安装槽，所述镀膜反应釜下表面与安装槽连接。

优选地，所述工作台包括工作台本体、交频电磁感应控制箱、电线管以及支撑柱，所述交频电磁感应控制箱一表面与工作台本体上表面连接，若干所述支撑柱一端均与工作台本体上表面焊接，所述电线管一端与交频电磁感应控制箱连接，所述电线管另一端与加热装置本体一表面连接，交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。

优选地，所述加热装置还包括高频电线以及导热金属棒，所述高频电线与导热金属棒周侧面连接，导热金属棒的设置，能够将感应电流产生的热量通过导体传输到水箱中，为反应提供能量。

优选地，所述水箱还包括出水管以及第二控制阀门，所述出水管一端与水箱本体一侧表面连接，所述第二控制阀门安装于出水管周侧面，能够实现进排水的操作。

优选地，所述镀膜反应釜包括镀膜反应釜本体以及气态原料进气管，所述气态原料进气管一端与镀膜反应釜本体上表面连接，气态原料进气管的设置，使得原料通过管道进入设备，密封性良好，有利于提高镀膜的纯度质量。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型中，通过交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。

2.本实用新型中，通过导热金属棒的设置，能够将感应电流产生的热量通过导体传输到水箱中，为反应提供能量。