[实用新型]一种镀膜设备中的加热传感装置

权利要求书

1.一种镀膜设备中的加热传感装置，包括工作台（110）、加热装置（120）、水箱（130）以及镀膜反应釜（140），其特征在于：所述工作台（110）一表面与加热装置（120）下表面焊接，所述加热装置（120）包括加热装置本体、支撑架（121）以及绝缘柱（123），若干所述支撑架（121）一端均与加热装置本体下表面连接，所述绝缘柱（123）周侧面与支撑架（121）一表面焊接，所述加热装置（120）一表面与水箱（130）一侧表面连接，所述水箱（130）包括水箱本体、进水管（131）以及第一控制阀门（132），所述进水管（131）一端与水箱本体一侧表面连接，所述第一控制阀门（132）安装于进水管（131）周侧面，所述水箱（130）一表面设有安装槽，所述镀膜反应釜（140）下表面与安装槽连接。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备中的加热传感装置，其特征在于：所述工作台（110）包括工作台本体、交频电磁感应控制箱（111）、电线管（112）以及支撑柱（113），所述交频电磁感应控制箱（111）一表面与工作台本体上表面连接，若干所述支撑柱（113）一端均与工作台本体上表面焊接，所述电线管（112）一端与交频电磁感应控制箱（111）连接，所述电线管（112）另一端与加热装置本体一表面连接。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜设备中的加热传感装置，其特征在于：所述加热装置（120）还包括高频电线（122）以及导热金属棒（124），所述高频电线（122）与导热金属棒（124）周侧面连接。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜设备中的加热传感装置，其特征在于：所述水箱（130）还包括出水管（133）以及第二控制阀门（134），所述出水管（133）一端与水箱本体一侧表面连接，所述第二控制阀门（134）安装于出水管（133）周侧面。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜设备中的加热传感装置，其特征在于：所述镀膜反应釜（140）包括镀膜反应釜本体以及气态原料进气管（141），所述气态原料进气管（141）一端与镀膜反应釜本体上表面连接。