[实用新型]一种晶圆切割用高效导向定位机构有效
| 申请号： | 202022102566.9 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN213704071U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 秦可勇;何彬 | 申请（专利权）人： | 江苏众晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人： | 耿恩华 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割 高效 导向 定位 机构 | ||
1.一种晶圆切割用高效导向定位机构，包括平台(1)，其特征在于，所述平台(1)上方一侧设置有气缸支架(2)，所述气缸支架(2)内部固定连接有气缸(3)，所述气缸(3)一侧连接有伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)一侧连接有推板(5)，所述平台(1)上方另一侧设置有滑轨(6)，所述滑轨(6)上方设置有固定环(8)，所述固定环(8)内部设置有晶圆(10)，所述晶圆(10)一端外侧设置有定位环(11)；
所述平台(1)下表面设置有限位环(13)，所述限位环(13)内部贯穿连接有推杆(15)，所述推杆(15)一端连接有挡板(12)，所述平台(1)一侧边缘下方设置有指针(17)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用高效导向定位机构，其特征在于，所述固定环(8)表面贯穿连接有夹持螺栓(9)，所述夹持螺栓(9)一端连接有夹持板(20)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用高效导向定位机构，其特征在于，所述固定环(8)下方连接有滑杆(7)，所述滑杆(7)下方连接有滑块(21)，所述滑块(21)位于滑轨(6)内部。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用高效导向定位机构，其特征在于，所述定位环(11)内部设置有导轮支架(22)，所述导轮支架(22)内部设置有导轮(23)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用高效导向定位机构，其特征在于，所述气缸(3)内部设置有活塞(24)，所述活塞(24)一侧与伸缩杆(4)连接，所述气缸(3)上方一侧设置有气嘴(19)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用高效导向定位机构，其特征在于，所述平台(1)下方固定连接有结构支架(18)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用高效导向定位机构，其特征在于，所述推杆(15)表面设置有刻度(16)，所述限位环(13)下方贯穿连接有限位螺栓(14)。
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