[实用新型]一种双面曝光机

权利要求书

1.一种双面曝光机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)内安装有两个相对布置的安装座(2)，两个所述安装座(2)之间设有上下布置的两个安装支架(3)，所述安装支架(3)通过第一驱动组件活动的安装在安装座(2)上；所述安装支架(3)上设有光刻板定位支架(4)，所述光刻板定位支架(4)通过第二驱动组件活动的安装在安装支架(3)上，且所述第一驱动组件的运行方向与第二驱动组件的运动方向垂直；两个所述安装支架(3)之间设有硅片定位支架(5)，所述硅片定位支架(5)固定的安装在两个安装座(2)之间；所述安装支架(3)与机体(1)之间设有遮光帘；位于所述安装支架(3)上方的机体(1)上安装有上曝光灯(6)，位于所述安装支架(3)下方的机体(1)上安装有下曝光灯(7)。

2.根据权利要求1所述的一种双面曝光机，其特征在于，所述第一驱动组件包括轴承座(8)、步进电机(9)、丝杆(10)和导杆(11)；所述轴承座(8)安装在安装座(2)的一端，所述步进电机(9)安装在安装座(2)的另一端，所述丝杆(10)安装在步进电机(9)的驱动端，所述丝杆(10)的末端转动的安装在轴承座(8)中；所述安装支架(3)的一侧安装有螺纹套(12)，所述螺纹套(12)与丝杆(10)螺纹连接；所述安装支架(3)的另一侧安装有滑套(13)，所述滑套(13)与导杆(11)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种双面曝光机，其特征在于，所述螺纹套(12)呈方形状；所述安装座(2)上开设有与螺纹套(12)相适配的滑槽(14)，所述螺纹套(12)滑动的安装在滑槽(14)中。

4.根据权利要求2所述的一种双面曝光机，其特征在于，所述第二驱动组件包括两根直线滑轨(15)；两根所述直线滑轨(15)安装在安装支架(3)上，且所述直线滑轨(15)与丝杆(10)垂直布置，所述光刻板定位支架(4)安装在直线滑轨(15)的滑块上。

5.根据权利要求1所述的一种双面曝光机，其特征在于，所述遮光帘为黑色的折叠帘。

6.根据权利要求1所述的一种双面曝光机，其特征在于，所述上曝光灯(6)和下曝光灯(7)均通过升降组件安装在机体(1)的内壁上。

7.根据权利要求6所述的一种双面曝光机，其特征在于，所述升降组件包括电动推杆(16)和用于安装曝光灯的支撑座(17)；所述机体(1)的内壁上开设有T型导向槽(19)，所述支撑座(17)通过滑轨(18)滑动的安装在T型导向槽(19)中，所述电动推杆(16)安装在机体(1)上，所述电动推杆(16)的驱动端与支撑座(17)连接。