[实用新型]一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器

说明书

本实用新型属于滤波器领域，尤其是一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，包括收纳箱，所述收纳箱的顶部开设有活动口，活动口内活动安装有门板，门板与活动口相适配且门板通过铰链转动安装在收纳箱上，所述门板的底部固定安装有固定块，所述收纳箱的底部内壁上滑动安装有安装板,安装板的一侧沿水平方向上开设有曲形活动孔，收纳箱内设有放置板，放置板的顶部固定安装有滤波器本体，滤波器本体与活动口相适配且放置板的底部固定安装有活动杆，活动杆靠近安装板的一侧固定安装有圆杆的一端，曲形活动孔与圆杆相适配，且圆杆的另一端活动安装在曲形活动孔内。本实用新型结构、使用方便，方便对滤波器中的电器原件进行收纳和检修。

技术领域

本实用新型涉及滤波器领域，尤其涉及一种基于ICP深硅刻蚀 MEMS滤波器。

背景技术

随着通信行业的迅猛发展,集成化和小型化成为微波通信系统中微波组件的重要趋势,滤波器作为通信系统中必不可少的微波无源器件,滤波器的性能指标直接影响整个通信链路的性能。微波组件有源器件大多为微小芯片,组件的体积和重量主要由无源器件决定,所以减少滤波器的体积重量意义重大。高效、快速地研制小型化高性能的微波滤波器已经成为主流。

申请号为201510469697.1的专利公开了一种基于MEMS的可调红外滤波器，集成了MEMS可调机械结构与表面等离子体共振单元,表面等离子体共振单元为由上下两层金属结构组成的双层金属结构,其中, 双层金属结构的上层和下层分别设置有互补图案形状的上耦合层和下耦合层,互补图案的上耦合层和下耦合层具有相同或者相近的几何参数；并且,MEMS可调机械结构设置有用于支撑上耦合层的可动平行支撑板和用于设置下耦合层的下层衬底,可动平行支撑板通过柱体或者自身结构与下层衬底相连；并且,可动平行支撑板上设有金属电极；下层衬底包括底材和金属膜；并且,金属膜上设置有金属孔洞结构。

该设备中的滤波器在不需要使用的时候，缺少收纳设备，可能会导致在不需要使用的时候，外界造成对滤波器中的电器元件的损害，且不方便对滤波器中的电器元件进行检修。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，包括收纳箱，所述收纳箱的顶部开设有活动口，活动口内活动安装有门板，门板与活动口相适配且门板通过铰链转动安装在收纳箱上，所述门板的底部固定安装有固定块，所述收纳箱的底部内壁上滑动安装有安装板,安装板的一侧沿水平方向上开设有曲形活动孔，收纳箱内设有放置板，放置板的顶部固定安装有滤波器本体，滤波器本体与活动口相适配且放置板的底部固定安装有活动杆，活动杆靠近安装板的一侧固定安装有圆杆的一端，曲形活动孔与圆杆相适配，且圆杆的另一端活动安装在曲形活动孔内，所述固定块上固定安装有拉绳的一端，拉绳的另一端通过滑轮固定在安装板上。

优选的，所述门板的顶部固定安装有拉杆。

优选的，所述收纳箱的底部内壁上固定安装有第一滑轨，第一滑轨上滑动安装有第一滑块，第一滑块与安装板的底部固定连接。

优选的，所述收纳箱的两侧内壁上均固定安装有第二滑轨，两个第二滑轨上均滑动安装有第二滑块，两个第二滑块分别与放置板的两侧固定连接。

优选的，所述安装板远离滑轮的一侧固定安装有若干复位弹簧的一端，复位弹簧的另一端均固定在收纳箱的内壁上。

本实用新型中，所述一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，当需要对收纳箱中的滤波器中的电器元件进行检修的时候，通过拉动拉杆带动活动口向左转动，通过固定块拉动拉绳，通过拉绳拉动安装板向左移动，继而安装板上的曲形活动孔向左移动，使得曲形活动孔挤压圆杆，使得圆杆向上移动，继而带动活动杆向上移动，继而带动放置板向上移动。工作人员便可以通过收纳箱顶部的活动口便于对放置板的滤波器中的电器原件进行检修。