[实用新型]一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器

权利要求书

1.一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，包括收纳箱(1)，其特征在于，所述收纳箱(1)的顶部开设有活动口(4)，活动口(4)内活动安装有门板(12)，门板(12)与活动口(4)相适配且门板(12)通过铰链(13)转动安装在收纳箱(1)上，所述门板(12)的底部固定安装有固定块(11)，所述收纳箱(1)的底部内壁上滑动安装有安装板(18),安装板(18)的一侧沿水平方向上开设有曲形活动孔(17)，收纳箱(1)内设有放置板(2)，放置板(2)的顶部固定安装有滤波器本体，滤波器本体与活动口相适配且放置板的底部固定安装有活动杆(14)，活动杆(14)靠近安装板(18)的一侧固定安装有圆杆(15)的一端，曲形活动孔(17)与圆杆(15)相适配，且圆杆(15)的另一端活动安装在曲形活动孔(17)内，所述固定块(11)上固定安装有拉绳(10)的一端，拉绳(10)的另一端通过滑轮固定在安装板(18)上。

2.根据权利要求1所述的一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，其特征在于，所述门板(12)的顶部固定安装有拉杆(5)。

3.根据权利要求1所述的一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，其特征在于，所述收纳箱(1)的底部内壁上固定安装有第一滑轨(9)，第一滑轨(9)上滑动安装有第一滑块(16)，第一滑块(16)与安装板(18)的底部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，其特征在于，所述收纳箱(1)的两侧内壁上均固定安装有第二滑轨(6)，两个第二滑轨(6)上均滑动安装有第二滑块(7)，两个第二滑块(7)分别与放置板(2)的两侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于ICP深硅刻蚀MEMS滤波器，其特征在于，所述安装板(18)远离滑轮(3)的一侧固定安装有若干复位弹簧(8)的一端，复位弹簧(8)的另一端均固定在收纳箱(1)的内壁上。