[实用新型]一种镀膜均匀的真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202022081222.4 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN213113492U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 卢林松 申请(专利权)人: 苏州双石真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 代理人: 刘盼盼
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 均匀 真空镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种镀膜均匀的真空镀膜装置,其特征在于,包括:底座(1)和箱体(2),所述箱体(2)前表面开设有进料口(3),所述箱体(2)外表面通过铰链固定安装有门板(4),所述门板(4)后表面安装有密封板(5),所述密封板(5)与进料口(3)配合连接,所述箱体(2)内表面左右两侧均设有蒸发源(6),所述箱体(2)内部前侧设有第一转盘(7),所述第一转盘(7)后表面开设有转孔(8),所述第一转盘(7)后表面连接有第一条形板(9),所述第一条形板(9)前表面上侧开设有圆孔(10),所述转孔(8)和圆孔(10)内配合连接有转轴,所述箱体(2)内部后侧设有第二转盘(11),所述第二转盘(11)前表面连接有第二条形板(12),所述第一条形板(9)和第二条形板(12)对称安装在置物板(13)上表面前后两侧,所述置物板(13)上表面开设有置物槽(14),所述第一转盘(7)和第二转盘(11)中间位置固定安装有连接管(15),所述连接管(15)内开设有通孔(16),所以通孔(16)内设有转辊(17),所述箱体(2)后表面安装有电机(18),所述电机(18)与转辊(17)后表面固定连接,所述底座(1)上表面后侧设有真空泵(19),所述真空泵(19)通过气管(20)连接至箱体(2)内部。

2.如权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置,其特征在于:所述底座(1)上表面开设有凹槽,所述箱体(2)外表面下侧固定安装在箱体(2)内。

3.如权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置,其特征在于:所述转孔(8)、第一条形板(9)、圆孔(10)、第二条形板(12)、置物板(13)以及置物槽(14)均设有多组,多组所述转孔(8)均匀开设在第一转盘(7)后表面和第二转盘(11)前表面,多组所述圆孔(10)分别开设在第一条形板(9)前表面和第二条形板(12)后表面上侧,多组所述第一条形板(9)和第二条形板(12)分别通过转轴连接在第一转盘(7)和第二转盘(11)之间,多组所述置物板(13)分别固定连接在多组第一条形板(9)和第二条形板(12)下表面,多组所述置物槽(14)分别开设在多组置物板(13)上表面。

4.如权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置,其特征在于:所述密封板(5)中间位置开设有圆槽,所述圆槽内设有轴承,所述转辊(17)、通孔(16)以及轴承的横截面均为多边形,所述转辊(17)前端配合连接在轴承内。

5.如权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置,其特征在于:所述第一条形板(9)、第二条形板(12)、置物板(13)以及置物槽(14)外表面均开设有网孔。

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