[实用新型]一种蒸发台有效
| 申请号： | 202022055814.9 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN213084836U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张军委;钱军;王福平 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B65H5/18 | 分类号： | B65H5/18;B65H37/00;G01B21/08;G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 阴知见 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 | ||
1.一种蒸发台，其特征在于，包括：
衬底载体，所述衬底载体具有一镂空开口；
回转机构，所述回转机构与所述衬底载体连接，所述回转机构包括回转密封外层、回转密封中层、回转密封内层，所述回转密封内层为空心结构，所述回转密封内层与所述衬底载体的镂空开口对应；且，所述回转密封中层可在所述回转密封外层与所述回转密封内层之间转动；
驱动机构，所述驱动机构与所述回转机构连接，且，所述驱动机构驱动所述回转机构转动。
2.根据权利要求1所述的蒸发台，其特征在于，所述回转密封外层与所述回转密封中层之间设置有外层轴承，所述回转密封中层与所述回转密封内层之间设置有内层轴承连接。
3.根据权利要求2所述的蒸发台，其特征在于，所述回转密封外层与所述回转密封中层之间设置有外层磁液。
4.根据权利要求1所述的蒸发台，其特征在于，所述回转密封中层与所述回转密封内层之间设置有内层双道磁液。
5.根据权利要求1所述的蒸发台，其特征在于，所述回转密封内层顶部设置有中心密封压板，所述中心密封压板中部设置有传感器，所述传感器延申至所述回转密封内层底部。
6.根据权利要求1所述的蒸发台，其特征在于，所述驱动机构包括驱动件、与所述驱动件连接的驱动同步带轮、设置于所述回转密封中层上的从动同步带轮，以及一端与所述驱动同步带轮连接，另一端与所述从动同步带轮连接的驱动同步带。
7.根据权利要求6所述的蒸发台，其特征在于，所述驱动件包括驱动电机。
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