[实用新型]一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备

权利要求书

1.一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，包括：

底座；

涂布平台，设置于所述底座上，且与所述底座滑动连接，所述涂布平台用于承载涂布基底；

模头装置，包括：模头架以及设置于所述模头架上的模头，在所述模头内部设有溶液通道，所述模头底部的溶液通道出液口处设有模唇，所述模头能够上下升降；

供液装置，与所述溶液通道的入液口连接，为所述模头提供溶液；

其特征在于，还包括：

负压装置，包括：负压盒，所述负压盒通过抽真空管路与真空泵连接，所述负压盒设置于所述涂布平台上，且与所述涂布平台滑动连接。

2.根据权利要求1所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述涂布平台上设有滑槽，所述负压盒的滑动端置于所述滑槽内，且能够沿所述滑槽滑动。

3.根据权利要求2所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，在所述滑槽与所述负压盒滑动端之间设有密封件。

4.根据权利要求1所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述负压盒包括：

盒前部，所述盒前部的内部形状与所述模头涂布端的外轮廓相匹配，涂布时，所述模头涂布端与所述盒前部贴紧；

盒后部，所述盒后部底面与所述涂布平台承载面之间设有滑动间隙。

5.根据权利要求1所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述负压盒内设有负压检测装置，所述负压检测装置和真空泵分别与控制装置电连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述涂布平台通过导轨导槽结构与所述底座滑动连接。

7.根据权利要求1-5任一项所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述涂布平台包括：

上水平板，用于承载涂布基底；

下支撑板，设置于所述上水平板的下方；

调节组件，用于调节所述上水平板与下支撑板之间的距离；

固定组件，用于连接所述上水平板与下支撑板。

8.根据权利要求7所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，在所述上水平板上设有为所述上水平板提供热量的加热元件。

9.根据权利要求1-5任一项所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述供液装置包括储液槽、供液泵及供液管路，所述供液泵的进口和出口通过所述供液管路分别与所述储液槽及所述模头上的溶液通道入液口连接。

10.根据权利要求1-5任一项所述的带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述模头架为横跨所述涂布平台的龙门式结构。