[实用新型]一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备

说明书

本实用新型公开一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，包括：底座；涂布平台，设置于底座上，且与底座滑动连接，涂布平台用于承载涂布基底；模头装置，包括：模头架以及设置于模头架上的模头，在模头内部设有溶液通道，模头底部的溶液通道出液口处设有模唇，模头能够上下升降；供液装置，与溶液通道的入液口连接，为模头提供溶液；负压装置，包括：负压盒，负压盒通过抽真空管路与真空泵连接，负压盒设置于涂布平台上，且与涂布平台滑动连接。本实用新型在模头和涂布基底之间增加了负压，一方面可以有效减小涂布区域的气压，另一方面给液桥施加一个负压拉力，使液桥更稳定，从而大大降低孔的产生。

技术领域

本实用新型涉及钙钛矿薄膜制备技术领域，具体涉及一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备。

背景技术

近年来，钙钛矿太阳能电池因其优异的光伏特性、简单廉价的制备工艺受到了广泛关注。钙钛矿薄膜可以通过简单且廉价的溶液涂布工艺制备，在商业化太阳能电池上有着巨大的潜力。钙钛矿薄膜对表观形貌要求很高，尤其要严格控制孔的形成，否则会对光电转化效率产生很大影响。

目前，刚性基底钙钛矿薄膜的大面积涂布，最常使用的是传统的狭缝平板涂布设备。涂布时，涂布液在模唇与基底之间形成液桥，随着模头和基底相对运动，涂布液通过液桥均匀的铺展在基底表面。由于基底表面微观上是凹凸不平的，而且，液桥竖直垂落于基底表面，受力不平衡，液桥稳定性差，很容易有气体掺杂进液桥，最终在钙钛矿薄膜表面形成孔。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其在模头和涂布基底之间增加了负压，一方面可以有效减小涂布区域的气压，另一方面给液桥施加一个负压拉力，使液桥更稳定，从而大大降低孔的产生。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，包括：

底座；

涂布平台，设置于底座上，且与底座滑动连接，涂布平台用于承载涂布基底；

模头装置，包括：模头架以及设置于模头架上的模头，在模头内部设有溶液通道，模头底部的溶液通道出液口处设有模唇，模头能够上下升降；

供液装置，与溶液通道的入液口连接，为模头提供溶液；

负压装置，包括：负压盒，负压盒通过抽真空管路与真空泵连接，负压盒设置于涂布平台上，且与涂布平台滑动连接。

本实用新型一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，其在模头和涂布基底之间增加了负压，一方面可以有效减小涂布区域的气压，另一方面给液桥施加一个负压拉力，使液桥更稳定，从而大大降低孔的产生。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，涂布平台上设有滑槽，负压盒的滑动端置于滑槽内，且能够沿滑槽滑动。

采用上述优选的方案，结构简单，负压盒滑动更顺畅。

作为优选的方案，在滑槽与负压盒滑动端之间设有密封件。

采用上述优选的方案，在涂布时，密封环境使得使液桥更稳定。

作为优选的方案，负压盒包括：

盒前部，盒前部的内部形状与模头涂布端的外轮廓相匹配，涂布时，模头涂布端与盒前部贴紧；

盒后部，盒后部底面与涂布平台承载面之间设有滑动间隙。

采用上述优选的方案，涂布时，模头与盒前部贴紧，以起到密封作用。盒后部与涂布平台留有很小的滑动间隙，涂布时与涂布平台产生相对滑动，既不产生较大的滑动摩擦，又可起到密封作用。