[实用新型]一种高精度平面度检测工装

权利要求书

1.一种高精度平面度检测工装，其特征在于，该高精度平面度检测工装包括中板部件（1）、支架部件（2）、第一动力源（3）和探头模块部件（4）；所述支架部件（2）固定设置于所述中板部件（1）上；所述第一动力源（3）设置于所述支架部件（2）上，所述探头模块部件（4）位于中板部件（1）上方，所述第一动力源（3）可驱动探头模块部件（4）沿着竖直方向来回往复移动。

2.根据权利要求1所述的高精度平面度检测工装，其特征在于，所述高精度平面度检测工装包括固定部件（5）；所述固定部件（5）阵列设于所述中板部件（1）四周。

3.根据权利要求2所述的高精度平面度检测工装，其特征在于，所述固定部件（5）为吸盘。

4.根据权利要求1所述的高精度平面度检测工装，其特征在于，所述第一动力源（3）为气缸，所述气缸通过安装板固定设于所述支架部件（2）上，对应于所述气缸的伸缩杆的初始位置和伸出位置都设有位置传感器。

5.根据权利要求1所述的高精度平面度检测工装，其特征在于，所述探头模块部件（4）包括至少一个线性传感器（41）、探头板（42）、导柱（43）和定位件（44）；所述线性传感器（41）阵列设置于所述探头板（42）上，所述导柱（43）对称设置在所述探头板（42）两侧；所述定位件（44）旋接在所述探头板（42）上。

6.根据权利要求5所述的高精度平面度检测工装，其特征在于，所述探头板（42）上设有长条形孔。

7.根据权利要求1所述的高精度平面度检测工装，其特征在于，所述中板部件（1）包括大板（11）、水平板（12）、连接柱（13）和定位块（14）；所述大板（11）与所述水平板（12）之间通过所述连接柱（13）固定连接；所述定位块（14）固定设置于所述水平板（12）上。