[实用新型]一种超精密三自由度运动平台

权利要求书

1.一种超精密三自由度运动平台，包括连接板(1)，所述连接板(1)内部开设有螺栓孔(2)，所述连接板(1)底端通过转轴与伸缩缸(3)转动连接，且伸缩缸(3)底端通过转轴与连接杆(4)转动连接；

其特征在于：还包括平衡底座(5)，所述连接杆(4)底端通过螺栓与平衡底座(5)相互锁固，所述平衡底座(5)包括固定板(51)、调节杆(52)、支撑板(53)、横板(54)和接近传感器(55)，所述固定板(51)顶端通过调节杆(52)与支撑板(53)相连接，所述支撑板(53)内部设置有横板(54)，所述横板(54)顶端中部安装有接近传感器(55)，所述支撑板(53)顶端通过螺栓与连接杆(4)相互锁固。

2.根据权利要求1所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述调节杆(52)包括旋钮(521)、连接轴(522)、联轴器(523)、螺杆(524)、外管(525)和万向固定座(526)，所述旋钮(521)底端与连接轴(522)相互桑插接，所述连接轴(522)底端通过联轴器(523)与螺杆(524)同心转动，所述螺杆(524)底端伸入至外管(525)内，且与外管(525)螺纹连接，所述外管(525)底端与万向固定座(526)相互焊接，所述万向固定座(526)底端通过螺栓与固定板(51)相互锁固，所述联轴器(523)嵌入至支撑板(53)内。

3.根据权利要求2所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述固定座(526)包括U形板(5261)、第一转轴(5262)、第二转轴(5263)、支杆(5264)和轴座(5265)，所述U形板(5261)底端通过第一转轴(5262)与第二转轴(5263)进行转动，所述第二转轴(5263)与支杆(5264)转动连接，所述支杆(5264)底端与轴座(5265)圆心处相互焊接，所述轴座(5265)底端通过螺栓与固定板(51)相互锁固，所述U形板(5261)顶端与外管(525)相互焊接。

4.根据权利要求1所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述固定板(51)呈圆形状，且固定板(51)底端呈平面状。

5.根据权利要求1所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述调节杆(52)设置有三根，均匀安装于固定板(51)和支撑板(53)之间，且三根调节杆(52)均由下至上向内倾斜。

6.根据权利要求2所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述旋钮(521)外侧套接有一层橡胶垫，且橡胶垫外侧设置有防滑纹路。

7.根据权利要求2所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述旋钮(521)与连接轴(522)呈同心设置，且连接轴(522)、联轴器(523)、螺杆(524)和外管(525)圆心呈同一直线。

8.根据权利要求3所述一种超精密三自由度运动平台，其特征在于：所述第一转轴(5262)和第二转轴(5263)呈交叉设置，且第一转轴(5262)与第二转轴(5263)转动连接。