[实用新型]光阻烘烤装置和光阻烘烤设备

说明书

本实用新型涉及显示技术领域，其实施例公开了一种光阻烘烤装置和光阻烘烤设备，该光阻烘烤装置包括由底板和盖板围合组成的烘烤腔体，还包括位于该底板上的加热板以及与该加热板电连接的控制器，该加热板用于放置待烘烤基板；该盖板在与该加热板相对的一侧上设有多个阵列排布的温度调节组件，多个该温度调节组件分别与该控制器电连接，并通过该控制器分别调节每个该温度调节组件的加热温度。该光阻烘烤装置可以根据不同情况对产品线宽尺寸进行局部调整，改善产品线宽尺寸的均一性；还可以有效改善光阻涂布时起刀部的局部线宽尺寸偏大或偏小的问题，提高了该光阻烘烤装置的使用灵活性。该光阻烘烤设备包括如上所述的该光阻烘烤装置。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种光阻烘烤装置和光阻烘烤设备。

背景技术

现有技术中，液晶显示装置一般包括液晶显示面板和背光模组。该液晶显示面板包含薄膜晶体管基板、彩色滤光基板及液晶层，该薄膜晶体管基板与该彩色滤光基板相对而设，该液晶层夹设于该薄膜晶体管基板与该彩色滤光基板之间。

该薄膜晶体管基板制作过程中，形成某一膜层时，通常需要经过涂布、曝光、显影工艺形成光阻图案，其中在光阻涂布之后，还需要通过抽真空单元抽出光阻中的部分溶剂，再经过烘烤设备对其进行干燥和固化，去除光阻中残留的溶剂，以增强光阻与玻璃基板的粘着性，从而达到更好的显影效果。

图1为现有技术中光阻烘烤装置的结构示意图。如图1所示，该光阻烘烤装置包括由底板11和盖板12围合组成的烘烤腔体，该底板11上设有加热板13，涂布光阻后的玻璃基板1放置在该加热板13上。对涂布光阻后的玻璃基板1在进行烘烤时，是将玻璃基板1放在该加热板13上，再藉由该加热板13的热度使玻璃基板1表面的化学物质挥发，在此过程中，该加热板13的热源来自于其底部的加热器。现有技术公开的光阻烘烤装置无法精确进行局部控温，导致对显影后光阻图案的线宽尺寸进行局部补偿的手段比较有限，线宽尺寸均一性的改善效果不佳，因此，现有技术公开的光阻烘烤装置的使用灵活性较差。

有鉴于此，本实用新型申请人针对上述光阻烘烤装置设计中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本创作。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中光阻烘烤装置的使用灵活性较差等技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：本实施例公开了一种光阻烘烤装置，用于对涂布有光阻的待烘烤基板进行烘烤，包括由底板和盖板围合组成的烘烤腔体，还包括位于该底板上的加热板以及与该加热板电连接的控制器；其中，该盖板与该加热板相对的一侧上设有多个阵列排布的温度调节组件，多个该温度调节组件分别与该控制器电连接，并通过该控制器分别调节每个该温度调节组件的加热温度。

优选地，该盖板上还设有多个检测组件，多个该检测组件与多个该温度调节组件一一对应设置并用于检测该待烘烤基板上不同位置的光阻厚度，多个该检测组件还分别与该控制器电连接并将该光阻厚度发送给该控制器，该控制器根据该光阻厚度对应设置第一补偿参数以调节该温度调节组件的加热温度。

优选地，该盖板上还设有多个温度感应组件，多个该温度感应组件与多个该温度调节组件一一对应设置并用于检测该烘烤腔体内不同位置的实际温度，多个该温度感应组件还分别与该控制器电连接并将该实际温度发送给该控制器，该控制器根据该实际温度对应设置第二补偿参数以调节该温度调节组件的加热温度。

优选地，该加热板在远离该底板的一侧放置该待烘烤基板，该加热板在靠近该底板的一侧设有多个阵列排布的第一加热组件，多个该第一加热组件分别与该控制器电连接，并通过该控制器分别调节每个该第一加热组件的温度以对该待烘烤基板进行加热。

优选地，该盖板上的该温度调节组件的数量大于该加热板上的该第一加热组件的数量。

优选地，该温度调节组件包括依次设置的第二加热组件和挡板，该挡板与该待烘烤基板相对设置，该控制器控制该第二加热组件和该挡板的开启和关闭状态。